[实用新型]一种脆性材料的单面抛光治具有效
| 申请号： | 201821674918.4 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN209158071U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王熙博;袁林锋 | 申请（专利权）人： | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人： | 陈靳秋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆盘本体 通气槽 治具 抛光治具 背面 本实用新型 脆性材料 单面抛光 平底凹槽 边缘处 相通 加工零件 盘面本体 同心设置 真空状态 上盘面 盘面 取下 上盘 下盘 挤压 | ||
【权利要求书】：
1.一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，包括圆盘本体(5)，所述圆盘本体(5)正面设有与圆盘本体(5)同心设置的平底凹槽(52)，所述平底凹槽(52)用于扣合在带加工零件上；所述圆盘本体(5)背面(55)设有通气槽(54)，所述通气槽(54)的端部与圆盘本体(5)边缘处相通。
2.根据权利要求1所述的一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，所述平底凹槽(52)边沿(51)处设有数个缺口(53)。
3.根据权利要求2所述的一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，所述缺口(53)的数量为两个，对称设于平底凹槽(52)的边沿(51)处。
4.根据权利要求1所述的一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，所述平底凹槽(52)内设有抛光衬垫。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，所述圆盘本体为电木材料。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，所述通气槽(54)为十字型通气槽。
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