[实用新型]一种尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理装置，通过将尾气输送管路连接冲洗装置，实现对尾气输送管路末端处附着的颗粒物进行冲洗；而且，在尾气输送管路末端设置负压发生装置，提供动力，保证冲洗装置的清洗液和尾气的流动速度；另外，在尾气输送管路的末端通过管路连接处理结构，方便对尾气中有毒气体进行处理，减少污染；同时，本实用新型整体在管路中自动进行，降低操作人员受污染的危险。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种尾气处理装置。

背景技术

半导体行业需求，会产生一些有毒有害的尾气及颗粒副产物，所以需要对相应尾气进行处理，其中颗粒物会沉积到输运尾气管路内壁或者是阀件接口处，但目前的尾气处理设备在入口端因为并没有良好的加热系统，所以含砷、磷颗粒物容易沉积在接口处，难以处理，且每次维护周期较长；而且，由于尾气中有毒有害物质较多，操作人员在操作时易受到污染危险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种尾气处理装置，以解决现有技术中的问题，对沉积在接口处的颗粒物及尾气中有害物质进行处理，且降低操作人员受污染的危险。

本实用新型提供一种尾气处理装置，所述尾气处理装置包括：尾气输送管路和处理结构，所述尾气输送管路用于向处理结构输送待处理的尾气，所述处理结构用于对所述尾气输送管路输入的尾气进行处理；

所述尾气输送管路的第一位置还设置有冲洗装置，所述冲洗装置穿过尾气输送管路连接，以冲洗所述尾气输送管路内的颗粒附着物。

可选择地，所述尾气处理装置还包括负压发生装置，所述尾气输送管路包括第一输送管路，所述负压发生装置设置在所述第一输送管路上，所述负压发生装置用于将第一输送管路中的尾气压入。

可选择地，所述尾气输送管路还包括第二输送管路，所述第二输送管路的第一端与尾气源连接，第二端与所述第一输送管路连接，所述第二输送管路通过所述第一输送管路将尾气输入处理结构。

可选择地，所述第一输送管路包括内管和套设在所述内管上的外管；所述第一输送管路与处理结构连接一侧，所述外管的长度长于内管的长度；所述内管包括向相连接的处理结构流动的高速流体；

所述第二输送管路与所述第一输送管路的外管连接。

可选择地，所述冲洗装置设置在所述第二输送管路的第一位置，且所述冲洗装置冲水方向与所述第二输送管路尾气输送方向之间的夹角为α度。

可选择地，所述冲洗装置包括：

储存有第一清洗液的第一储存罐，所述第一储存罐底部连接有第一管路；

储存有第二清洗液的第二储存罐，所述第二储存罐底部连接有第二管路；

分别与所述第一管路的出口、所述第二管路的出口连接的第三管路，所述第三管路还与所述第二输送管路连接。

可选择地，所述第一管路与所述第二管路上均设置有质量流量计和控制球阀，所述第三管路上设置有控制球阀。

可选择地，所述处理结构包括：第一处理腔和至少一个第二处理腔；

所述第一输送管路与所述第一处理腔连接，尾气通过第一处理腔传输至第二处理腔；

所述第二处理腔还包括中空的悬浮球，尾气经第二处理腔底部喷射至所述悬浮球，

所述第二处理腔顶部包括设置的喷淋头，所述喷淋头用于喷射与尾气反应的化学药液，所述喷淋头在所述第二处理腔内设置的位置能够使所述喷淋头喷出的化学药液喷淋至所述悬浮球。

可选择地，所述第二处理腔顶部还设置有出口和风机，所述风机与所述出口连接。