[实用新型]一种晶片承载盘、研磨机及抛光机

说明书

本实用新型提供了一种晶片承载盘、研磨机及抛光机，涉及工业生产技术领域。晶片承载盘，包括：母轮和子轮，所述母轮上开设有若干圆形通孔，所述子轮的数量与所述圆形通孔的数量相同，所述子轮放置于所述圆形通孔内，且所述子轮的外轮廓与所述圆形通孔吻合，所述子轮能够在所述圆形通孔内转动，所述子轮上开设有晶片放置孔。本实用新型提供的晶片承载盘，使用时，在抛光机抛光过程中，母轮带动子轮相较于上、下抛光盘转动时，由于子轮也是圆形的，所以子轮的能够在摩擦力的作用下，带动放置在其晶片放置孔内的晶片一起相较于母轮转动，从而提高晶片的抛光效果。

技术领域

本实用新型涉及工业生产领域，具体而言，涉及一种晶片承载盘、研磨机及抛光机。

背景技术

目前，太阳能电池被广泛应用于各大领域，而半导体晶片是太阳能电池的重要组成元件。半导体晶片在生产过程中要经过研磨和抛光等工序。传统应用的半导体晶片绝大部分都是圆形晶片，所以现有的研磨机和抛光机，绝大部分都是根据圆形晶片进行相应的匹配设计；即使有其它异形晶片，也是在圆形晶片的设备、工艺基础上进行研磨、抛光处理，得到的异形晶片的表面平整度等参数就比较差，难以大批量生产，且成本较高。

拿抛光机举例，现有抛光机的承载盘上具有圆形的晶片放置孔(如图1所示)，抛光过程中，承载盘能够带动其上放置的圆形晶片相较于上、下抛光盘转动。同时，由于晶片是圆形的，圆形晶片在随承载盘一起相较于上、下抛光盘转动时，圆形晶片本身也能在摩擦力的作用下相较于承载盘转动。以此增强抛光效果。研磨时的原理与抛光类似，此处不加赘述。

但由于太阳能电池多为矩形的，所以圆形晶片在应用之前还要再次进行切割，将其切割成矩形，但这样一来，由于圆形晶片的边缘都是弧线形的。切割后会产生很多的切割废料。

现有的一些抛光机为了能够直接对矩形的晶片进行抛光，将承载盘上圆形的晶片放置孔更改为了矩形的。但如此一来，由于晶片是矩形的，故而，在矩形晶片随承载盘相较于上、下抛光盘转动时，矩形晶片无法相较于承载盘转动，导致抛光效果不佳。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶片承载盘、研磨机及抛光机，旨在改善现有设备无法对矩形晶片进行良好的研磨与抛光的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种晶片承载盘，包括：母轮和子轮，所述母轮上开设有若干圆形通孔，所述子轮的数量与所述圆形通孔的数量相同，所述子轮放置于所述圆形通孔内，且所述子轮的外轮廓与所述圆形通孔吻合，所述子轮能够在所述圆形通孔内转动，所述子轮上开设有晶片放置孔。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述晶片放置孔为矩形通孔。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述子轮的厚度与所述母轮相等。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述母轮的外周面设有锯齿结构。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，圆形通孔和所述子轮的数量均为四个。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述子轮的直径与所述母轮的直径之比为1/4-1/3。

一种研磨机，包括上研磨盘、下研磨盘、研磨液输送组件以及晶片承载盘，所述晶片承载盘为上述任一项所述的晶片承载盘。

一种抛光机，包括上抛光盘、下抛光盘、抛光液输送组件以及晶片承载盘，所述晶片承载盘为上述任一项所述的晶片承载盘。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的晶片承载盘，以抛光机举例，使用时，将母轮放置在抛光机的下抛光盘上，将子轮一一对应放入母轮上的圆形通孔内，并将晶片放置在子轮的晶片放置孔内。在抛光机抛光过程中，母轮带动子轮相较于上、下抛光盘转动时，由于子轮也是圆形的，所以子轮的能够在摩擦力的作用下，带动放置在其晶片放置孔内的晶片一起相较于母轮转动，从而提高晶片的抛光效果。