[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821649501.2 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209113980U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 鲁玉泉 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保护层 坩埚 外侧面 第一保护层 蒸镀装置 腐蚀 覆盖 侧面 第二保护层 蒸发物料 所述壁 溢出 腐蚀性物料 坩埚整体 交界处 蒸发物 壁面 申请 | ||
1.一种蒸镀装置(100)，其特征在于，包括：
坩埚(10)，包围形成具有开口的容纳腔(11)，所述坩埚(10)具有内侧面(12)、外侧面(13)以及沿所述坩埚(10)厚度方向内侧面(12)与外侧面(13)交界处的壁面(14)；
第一保护层(21)覆盖所述内侧面(12)，所述第一保护层(21)的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料腐蚀所述内侧面(12)；
第二保护层(22)，覆盖所述外侧面(13)；以及
第三保护层(23)，覆盖所述壁面(14)。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述第二保护层(22)的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述外侧面(13)；
所述第三保护层(23)的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述壁面(14)。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述第一保护层(21)包括至少一个台阶(211)，所述至少一个台阶(211)沿着第一方向布置，用于防止蒸发物料溢出。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述至少一个台阶(211)沿着第二方向的宽度依次增加，所述第一方向和所述第二方向垂直。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述第二保护层(22)包括至少一个锯齿(221)，所述至少一个锯齿(221)沿着第一方向布置，所述至少一个锯齿的一个端面与所述外侧面(13)垂直，用于防止所述蒸发物料溢出后，腐蚀整个所述外侧面(13)。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述至少一个锯齿(221)沿着第二方向的宽度依次增加，所述第二方向与所述第一方向垂直。
7.根据权利要求1所述的蒸镀装置(100)，其特征在于，所述第三保护层(23)包括至少一个凹槽(231)，所述至少一个凹槽(231)用于盛装一部分溢出的蒸发物料。
8.根据权利要求1所述蒸镀装置(100)，其特征在于，还包括：
盖体(30)，与所述坩埚(10)紧密盖合，所述盖体(30)上开设有通孔(31)。
9.根据权利要求8所述蒸镀装置(100)，其特征在于，还包括：
第四保护层(24)，密封所述盖体(30)，所述第四保护层(24)的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料腐蚀所述盖体(30)。
10.根据权利要求8所述蒸镀装置(100)，其特征在于，还包括：
引流管(40)，穿过所述通孔(31)，深入到所述容纳腔(11)的内部，用于将蒸发后的蒸发物料导出。
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