[实用新型]扩散炉尾气处理装置

说明书

本实用新型涉及一种扩散炉尾气处理装置，包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体冷却装置内通有冷却液，扩散炉尾气管输出管道设置于气体冷却装置上；所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器；所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次设置且一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器内腔相通；所述的一级过滤器和三级过滤器内部均内部填充玻璃珠；所述的二级过滤器内部填充水或尾气吸收液；所述三级过滤器连接尾气排放管。本实用新型设备结构简单，能有效避免尾气管堵塞、腐蚀；从而避免因偏磷酸等导致的尾气管断裂、接头黏连；降低了维护周期，提升了设备使用率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种扩散炉尾气处理装置。

背景技术

晶硅太阳能电池具有良好的工艺稳定性以及成熟的工艺流程，已经大规模应用于能源行业，在晶硅太阳能电池制作过程中最核心的工艺是PN结制作，即扩散工艺，硅片在扩散炉管内通入POCL₃、BCL₃等气体，反应使相应的掺杂杂质沉积在硅片表面形成PN结，在反应过程中会产生一些副产物，需要从尾气管排出，进入废气塔处理。

但是现有技术中尾气在排出时未能完全冷却且尾气排出装置对硼扩产生的氧化硼或者磷扩产生的偏磷酸等没有很好的去除，容易造成尾气管堵塞以及对整个尾气管，包括真空泵的腐蚀，甚至积液造成尾气管断裂和接头黏连，在硼扩散中表现的尤其明显，发生以上情况时需要将尾气管部分拆下清洗，严重影响设备的使用率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种扩散炉尾气处理装置，能够很好的去除炉管内反应产生的副产物，防止反应副产物堵塞尾气管以及对尾气管、真空泵的腐蚀，延长尾气管的维护周期，提高设备使用率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉尾气处理装置，包括气体冷却装置、一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器；所述的气体冷却装置内通有冷却液，扩散炉尾气管输出管道设置于气体冷却装置上；所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器；所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次设置且一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器内腔相通；所述的一级过滤器和三级过滤器内部均内部填充玻璃珠；所述的二级过滤器内部填充水或尾气吸收液；所述三级过滤器连接尾气排放管。

进一步的说，根据实际使用场合的需要，本实用新型所述的一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次水平摆放或垂直摆放。

再进一步的说，本实用新型所述的扩散炉尾气管输出管道缠绕在气体冷却装置外表面；扩散炉尾气管输出管道的最底部设置有废液收集器。扩散尾气从炉管排出后经过冷却装置，可以达到很好的降温效果，降温过程中偏磷酸等会发生冷凝，由废液收集器进行收集。

再进一步的说，本实用新型所述的扩散炉尾气管输出管道的一端连接一级过滤器的顶部进气口；所述一级过滤器的底部气体出口经管路与二级过滤器的底部进气口相连；所述二级过滤器的顶部出气口与三级过滤器的顶部进气口相通；所述的三级过滤器的气体出口设置于其底部。尾气冷却后进入一号过滤器进行初步过滤，过滤后气体进入二号过滤器，二号过滤器内加入水可以去除大部分副产物，废气经二号过滤器过滤后进入三号过滤器，去除二号过滤器带出的水蒸气，最后废气由真空泵抽出排至废气塔处理，

本实用新型与现有的尾气装置相比具有以下优势：