[实用新型]一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置

说明书

本实用新型公开了一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，涉及真空室内精密机构安装技术领域，解决的技术问题是因真空室壁面变形而对其内安装的精密机构位移精度影响，该装置包括真空室壁、缓冲密封装置、刚性安装座，缓冲密封装置套装在刚性安装座外圆表面上，刚性安装座一端穿过真空室壁上通孔与精密运行机构安装座连接，另一端固定安装在真空室外的刚性固定物体上，当真空室工作时，真空室壁变形产生的位移经过缓冲密封装置的缓冲作用设备仍然保持真空密封状态，而安装在刚性安装座上的精密运行机构安装座不会受真空室壁上的位移影响。本实用新型解决了安装在真空室内的精密机构受真空室壁变形影响而发生位移的问题并保证了真空室的真空密封。

技术领域

本实用新型涉及真空室内精密运动机构安装技术领域，尤其涉及一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，包括真空室壁、缓冲密封装置及刚性安装座。

背景技术

现有技术中电子束设备的真空室通常设计成方形或长方形。众所周知，真空容器的外壁上，每平方米的面积上承受着大约10吨的大气压力，而大型的电子束设备的尺寸都较大，有的长度甚至超过10米。仅就一个5米×5米×5米的真空室而言，当抽真空时，真空室的每个面上承受的大气压力达到250吨，在如此大的外力作用下，真空室的所有壁面都会发生变形，壁上的各个点会出现不同程度的位移，即向真空室内凹进，当加工完成放入大气时，真空室壁上各个点又会向反方向位移。虽然在真空室外壁上焊接加强筋，可以减弱这种变形的程度，但从材料力学的角度考虑均匀载荷下的挠度问题可知，室壁不可能达到绝对的不变形，只是程度上的不同而已，为了尽可能减小这种变形，加强筋的高度尺寸需要做得很大，这样又造成了材料的大量浪费和人力、工时的大量浪费，而且从工程合理性的角度来说加强筋的高度也不可能做的很大。

电子束真空设备的真空室内，当需要安装一些精密的运动机构来完成对零部件的精密电子束加工时，特别是电子枪内置于真空室内的大型电子束设备，由于电子枪需要在真空室内进行三维或多维度的运动，因此对三维或多维运动机构的精度有很高的要求，而这些精密的运动机构需要在真空室内安装固定，任何接触真空室壁的安装都会在设备反复抽真空和放大气的过程中由于真空室壁的不断交变变形而对其上的精密运动机构造成破坏精度或减少寿命的影响。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型所解决的技术问题是解决真空室壁面变形而对其内安装的精密运动机构位移精度影响。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，包括真空室壁、缓冲密封装置、刚性安装座，所述缓冲密封装置与所述刚性安装座外圆表面之间有间隙，可套装在所述刚性安装座上，所述刚性安装座一端穿过所述真空室壁上通孔与精密运行机构安装座连接，另一端固定安装在真空室外的刚性固定物体上，当真空室工作时，真空室壁变形产生的位移经过缓冲密封装置的缓冲作用设备仍然保持真空密封状态，而安装在刚性安装座上的精密运行机构安装座不会受真空室壁上的位移影响。

本实用新型通过设置在真空壁上的缓冲密封装置，有效地解决了安装在真空室内的精密运动机构受真空室壁变形的影响而发生位移的问题并保证了真空室的真空密封。

附图说明

图1为本实用新型第一个实施例结构示意图；

图2为本实用新型第二个实施例结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明，但不是对本实用新型的限定。

实施例1：