[实用新型]集成电路静电防护的二极管触发可控硅有效

专利信息
申请号: 201821632602.9 申请日: 2018-10-09
公开(公告)号: CN208848907U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 董树荣;徐泽坤;沈宏宇;郭维;胡涛 申请(专利权)人: 浙江大学昆山创新中心
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/74
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215347 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 注入区 集成电路 本实用新型 二极管触发 静电防护 电学 可控硅 衬底 阴极 触发电压 导通电阻 依次连接 阳极 鲁棒性
【权利要求书】:

1.集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:包括第一衬底,第一衬底上设置有依次连接的第一N阱、第一P阱和第二N阱,第一N阱上设置有第一P+注入区和第一N+注入区,第一P+注入区接入电学阳极,第一P阱上设置有第二P+注入区和第二N+注入区,第二P+注入区连接第一N+注入区,第二N阱上设置有第三N+注入区,第三N+注入区和第二N+注入区均接入电学阴极。

2.根据权利要求1所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第一衬底为P型衬底。

3.根据权利要求1所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第一P+注入区和第一N+注入区之间、第一N+注入区和第二P+注入区之间、第二P+注入区和第二N+注入区之间、第二N+注入区与第三N+注入区之间均设置有浅槽隔离,横向方向上,第一P+注入区靠外的一侧也设置有浅槽隔离。

4.根据权利要求1所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第二P+注入区与第一N+注入区金属连接。

5.集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:包括第二衬底,第二衬底上设置有依次连接的第二P阱、第三N阱和第三P阱,第二P阱上设置有第三P+注入区,第三N阱上设置有第四P+注入区和第四N+注入区,第四P+注入区和第三P+注入区均接入电学阳极,第三P阱上设置有第五P+注入区和第五N+注入区,第五P+注入区连接第四N+注入区,第五N+注入区接入电学阴极。

6.根据权利要求5所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第二衬底为P型衬底。

7.根据权利要求5所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第三P+注入区和第四P+注入区之间、第四P+注入区和第四N+注入区之间、第四N+注入区和第五P+注入区之间、第五P+注入区与第五N+注入区之间均设置有浅槽隔离,横向方向上,第五N+注入区靠外的一侧也设置有浅槽隔离。

8.根据权利要求5所述的集成电路静电防护的二极管触发可控硅,其特征在于:第五P+注入区与第四N+注入区金属连接。

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