[实用新型]一种太阳能直拉单晶炉用导流筒有效
申请号: | 201821629964.2 | 申请日: | 2018-10-09 |
公开(公告)号: | CN208995627U | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 唐波;吴新锋;彭熙瑜 | 申请(专利权)人: | 杭州幄肯新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 程志军 |
地址: | 311200 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内导流筒 外导流筒 凹环 本实用新型 直拉单晶炉 导流筒 限位部 锥齿环 锥齿轮 滚珠 内壁 钼层 太阳能 啮合 弧形过渡面 插入通孔 底部边缘 传动轴 导流纹 直筒状 轴承环 锥筒状 磨削 填充 外壁 下端 破裂 相抵 配合 | ||
本实用新型公开了一种太阳能直拉单晶炉用导流筒,由锥筒状的外导流筒和内导流筒组成,内导流筒的外壁和外导流筒的内壁之间保持一定的间隙,内导流筒外侧中部设有一圈锥齿环,外导流筒上设有一通孔,一传动轴插入通孔且其端部设有一锥齿轮,锥齿轮与锥齿环相啮合,内导流筒的顶部和外导流筒的顶部之间通过轴承环相配合,内导流筒的下端呈直筒状,内导流筒的底部边缘磨削为弧形过渡面,外导流筒的底部具有一限位部,限位部上具有与内导流筒底部相对应的凹环,凹环内填充有滚珠,内导流筒的底部插入凹环并与滚珠相抵接,内导流筒内壁上还设有一钼层,钼层上设置有导流纹,本实用新型的内导流筒不易破裂。
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能直拉单晶炉用导流筒。
背景技术
太阳能光伏行业的快速发展,对单晶硅的质量要求越来越高,企业需要不断的进行技术创新,去提高单晶质量及产量,降低单晶拉制的生产成本才能给企业带来最大的经济收益。直拉式硅单晶生长炉是制备硅单晶材料的主要设备,其内部的石墨热场保证了硅单晶的稳定生长,导流筒是组成石墨热场的一部分,在硅单晶生长过程中起到了非常重要的作用。氩气气体由上而下经过导流筒导入热场内部,可以有效的带走硅溶液上方的SiO,并对单晶硅棒进行降温,增大其纵向温度梯度,使单晶快速生长。
现有技术中的导流筒一般为用高纯的石墨材料制成的双层结构,长时间在高温环境下使用,内导流筒内发生破裂情况时有发生,究其原因,主要在于内导流筒和外导流筒之间的热传导并不均匀,当低温氩气气体通过时,温差使内导流筒的材质发生变形,导致内导流筒破裂。
实用新型内容
本实用新型目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种太阳能直拉单晶炉用导流筒。
本实用新型的技术方案是:一种太阳能直拉单晶炉用导流筒,由锥筒状的外导流筒和内导流筒组成,所述内导流筒的外壁和外导流筒的内壁之间保持一定的间隙,所述内导流筒外侧中部设有一圈锥齿环,所述外导流筒上设有一通孔,一传动轴插入所述通孔且其端部设有一锥齿轮,所述锥齿轮与所述锥齿环相啮合,所述内导流筒的顶部和所述外导流筒的顶部之间通过轴承环相配合,所述内导流筒的下端呈直筒状,所述内导流筒的底部边缘磨削为弧形过渡面,所述外导流筒的底部具有一限位部,所述限位部上具有与所述内导流筒底部相对应的凹环,所述凹环内填充有滚珠,所述内导流筒的底部插入所述凹环并与所述滚珠相抵接,所述内导流筒内壁上还设有一钼层,所述钼层上设置有导流纹。
进一步的,所述锥齿环内侧具有一固定环,所述固定环与所述内导流筒的外壁相过盈配合。
进一步的,所述凹环内的滚珠为双排滚珠。
进一步地,所述轴承环上端还设有一轴承盖,所述轴承盖的外侧固定于所述外导流筒的顶部。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的外导流筒和内导流筒之间保持一定的间隙,工作时,内导流筒在驱动轴传动下进行缓慢旋转,热传导更加缓慢均匀,可有效防止内导流筒破裂;内导流筒底部为直筒状,内壁上还设有一钼层,所述钼层上设置有导流纹,氩气气体通过更加均匀,同时使内导流筒温度梯度变得更大,有利于单晶硅的生长,提高生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
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