[实用新型]一种湿法喷淋尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴。本实用新型使产生的SiO₂白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，基本可以做到免停机清理维护，节水性好，在水箱内部的溢流口对面，通过对补水方向角度位置等进行有效管理，把混合液体主动推向溢流口方向，将溢流口改为方形隔板式，使溢流水形成类似于瀑布状水流，且设备结构简单，尾气处理装置通过持续稳定的小流量补水，不仅满足一定的水溶解和吸收能力，保证设备一直处于稳定处理状态，同时通过持续溢流排出溶解SiO₂颗粒的浑浊液体。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理领域，尤其涉及一种湿法喷淋尾气处理装置。

背景技术

半导体硅片制造的外延工艺会使用到大量TCS，工艺实际反应率小于20％，大量的TCS气体会被作为工艺尾气排出外延炉反应腔，这些有毒有害气体必须经过合适的尾气处理器处理达标后才能排入大气。TCS最安全的无害化处理方式就是水喷淋洗涤，但TCS与水反应生成大量SiO₂颗粒，会聚集成漂浮在水面上的白色结晶块状物。

现有的水洗式尾气处理器运行时，大量SiO₂白色结晶物漂浮在水面，需要一周左右停机清理一次，把SiO₂白色结晶物去除干净，给设备维护人员造成了很大的工作符合，并影响工艺机台的生产效率，而且耗水量大，为了将设备水箱内水面漂浮的白色结晶物去除，需要使用大量的补水和排水，把白色结晶物随排水溢流出设备，溢流口为圆形管道，当某种情况下需要大量排出结晶漂浮物时，可能会造成堵塞，影响排出速度。

因此，现有技术还有待发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种湿法喷淋尾气处理装置，旨在解决现有的湿法喷淋尾气处理装置工艺机台生产效率低耗水量大尾气排出速度慢的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴，所述进气腔与洗涤腔分别与所述储水箱连通，所述储水箱一端还与常压腔连通，所述储水箱与所述常压腔之间还设有水封，所述净化气体排出口与所述洗涤腔连通，所述尾气进气口通过进气腔与净化气体排出口通过管道连接，所述自来水进水口通过管道连接至储水箱，所述进气腔与所述洗涤腔之间设有连接至储水箱的管道，所述进气腔与洗涤腔之间的管道支路端设有文丘里混流喷嘴，所述进气腔与洗涤腔之间的管道主路与所述储水箱底端连通且在管道主路位于储水箱下方位置安置有喷淋循环泵，所述水封一半与储水箱连通，一半与常压腔连接，所述常压腔设有开口，所述常压腔与所述储水箱均设有排水管道，所述排水管道末端设有排水口。

进一步的，所述自来水进水口连通储水箱的管道上设有流量指示表和进水阀。

进一步的，所述进气腔与所述洗涤腔之间的管道支路上设有进水阀。

进一步的，所述储水箱与所述排水口的管道上也设有进水阀。

本实用新型与现有技术相比的有益效果：本实用新型使产生的SiO₂白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，基本可以做到免停机清理维护，只要确保液固有效混合液体缓慢溢流出设备即可，不需要大量的补水和排水，节水性好，在水箱内部的溢流口对面，通过对补水方向角度位置等进行有效管理，把混合液体主动推向溢流口方向，将溢流口改为方形隔板式，使溢流水形成类似于瀑布状水流，且设备结构简单，免维护保养，造价低，尾气处理装置通过持续稳定的小流量补水，不仅满足一定的水溶解和吸收能力，保证设备一直处于稳定处理状态，同时通过持续溢流排出溶解SiO₂颗粒的浑浊液体。

附图说明