[实用新型]一种大功率复合频率ICP等离子发生器有效
| 申请号： | 201821618110.4 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN209283567U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 郑小勇 | 申请（专利权）人： | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 汤婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市锦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频电源 等离子体管 中频电源 接入端 等离子发生器 复合频率 等离子体发生 本实用新型 公共接地端 螺旋感应圈 气体分布头 抽头 感应电源 密封设置 同轴包裹 上端 内腔 外壁 下端 电源 采购 申请 制造 | ||
1.一种大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，包括：
射频电源，频率为3-27.12MHz,功率为1-10KW；
中频电源，频率为50-1000KHz,功率为10-200KW；
等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；
螺旋感应圈，同轴包裹于所述等离子体管外壁，上端为所述射频电源接入端，下端为所述中频电源接入端，所述射频电源接入端下方抽头为所述射频电源、中频电源公共接地端；
气体分布头，密封设置于所述等离子体管顶部。
2.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，还包括高压点火电极，自所述气体分布头引入至所述等离子体发生内腔。
3.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述螺旋感应圈为8-20mm直径铜管通过陶瓷材料或保温纤维材料包裹成管状，所述螺旋感应圈圈数为6-7圈，相邻两圈间距为5-10mm，所述公共接地端位置为所述射频电源接入端下方1-2圈抽头处。
4.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述螺旋感应圈与所述等离子体管之间同轴设置有冷却管，所述冷却管内壁与所述等离子体管外壁之间流动设置有冷却液。
5.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述气体分布头轴心处密封设置有连通所述等离子体发生内腔的中心气管。
6.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述气体分布头开设有连通所述等离子体发生内腔的旋转气进气管，所述旋转气进气管连通于所述等离子体发生内腔的入口位于所述等离子体发生内腔顶部侧面，所述气体分布头同轴连接设置有旋气导向管，所述旋气导向管位于所述等离子体发生内腔顶部。
7.根据权利要求4所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述气体分布头与所述冷却管之间密封设置有出水法兰，所述出水法兰顶部设置有出水口，所述冷却液自所述出水口流出，所述出水法兰底部设置有密封法兰。
8.根据权利要求4所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述等离子体管底部同轴密封连通设置有进气法兰，所述进气法兰侧面开设有连通其内腔的进气腔。
9.根据权利要求8所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述进气法兰与所述冷却管之间同轴密封设置有水环法兰，所述水环法兰内壁形成有连通所述冷却管内部的环腔，所述进气法兰底部同轴密封设置有进水法兰，所述进水法兰一侧开设有进水口，所述进水法兰、进气法兰依次开设有连通所述环腔的进液通道，所述冷却液自所述进水口流入所述进液通道后流入所述环腔，再流入所述冷却管内部。
10.根据权利要求1所述的大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，所述射频电源通过同轴电缆连接至射频匹配网络，所述射频匹配网络再通过同轴电缆把射频功率接到所述射频电源接入端，所述中频电源通过水冷电缆连接至所述中频电源接入端。
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