[实用新型]一种可防止导热油溢流的砷烷储罐

说明书

一种可防止导热油溢流的砷烷储罐，包括一个储罐本体，所述储罐本体外部设有一个夹套，所述夹套内设有导热油容置腔室，该夹套顶部设有一个与所述导热油容置腔室相通的进油孔，所述进油孔相通连接一个真空容器，所述真空容器上部连接一个进油管，所述进油管上设有一个进出口阀门。本实用新型的砷烷储罐，可一次性加满导热油直到使用结束后取出导热油，不会出现由于温度升降造成导热油回流或回流后导热油量不足需要继续添加的情况，保证导热油量始终对储罐外壁满覆盖，达到稳步升温及降温的目的。

技术领域

本实用新型涉及气体储罐技术领域，更为具体地说是指一种可防止导热油溢流的砷烷储罐。

背景技术

砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒的可燃气体，有大蒜气味，与空气混合形成可燃混合气，其主要用于半导体工业中外延硅的N型掺杂，硅中N型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。

砷烷通常分装在气体储罐内。由于，砷烷的存储对温度精准度要求较高，因此，砷烷储罐外部通常设有夹套，以用于对砷烷储罐进行加热或冷却。目前砷烷储罐的夹套外部通常连接有一条加液管和一条出液管，以达到添加和取出导热油的目的。但是，由于导热油在受热时体积会变大，故导热油在充满夹套内部时，加热后容易溢出而回流至加液管中；而当导热油停止加热降温时，由于部分导热油回流至加液管中，导致夹套内的导热油油位下降而影响储罐的降温效果，而为不影响降温效果，则需要继续往夹套内添加导热油。为此，我们提供一种可防止导热油溢流的砷烷储罐。

实用新型内容

本实用新型提供一种可防止导热油溢流的砷烷储罐，其主要目的在于克服现有砷烷储罐夹套内的导热油受热容易溢出回流至加液管内，而降温时导热油油位下降而影响降温效果等缺点。

本实用新型采用如下技术方案：

一种可防止导热油溢流的砷烷储罐，包括一个储罐本体，所述储罐本体外部设有一个夹套，所述夹套内设有导热油容置腔室，该夹套顶部设有一个与所述导热油容置腔室相通的进油孔，所述进油孔相通连接一个真空容器，所述真空容器上部连接一个进油管，所述进油管上设有一个进出口阀门。

进一步地，所述夹套的底部还设有一个排油口。

优选地，所述真空容器为球体。

所述夹套由左夹套和右夹套密封连接组成，所述左夹套和右夹套在纵向上通过数个抱箍固定。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：该实用新型的砷烷储罐，在顶部增设一个真空容器，该真空容器与夹套顶部的进油孔相通连接，新增的真空容器可储存由于加热体积变大而溢出的导热油，防止其从反溢回流至进油管内，当导热油冷却时，真空容器内的导热油可回流至夹套内，填补由于冷却而导致的导热油油位下降的高度。故本实用新型的砷烷储罐，可一次性加满导热油直到使用结束后取出导热油，不会出现由于温度升降造成导热油回流或回流后导热油量不足需要继续添加的情况，保证导热油量始终对储罐外壁满覆盖，达到稳步升温及降温的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。为了全面理解本实用新型，下面描述到许多细节，但对于本领域技术人员来说，无需这些细节也可实现本实用新型。对于公知的组件、方法及过程，以下不再详细描述。

本实用新型公开了一种可防止导热油溢流的砷烷储罐，参照图1，包括一个储罐本体10，储罐本体外部设有一个夹套20，该夹套20由左夹套21和右夹套22密封连接组成，左夹套21和右夹套22在纵向上通过数个抱箍23固定。