[实用新型]一种真空吸附机构及抛光机有效
申请号: | 201821615149.0 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN208977558U | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 邬兴国;黄诚;谭琼 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺峰光电设备有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 李健威;陈卫 |
地址: | 518100 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空吸附机构 真空气路 抛光机 气滑 连通 本实用新型 气密性好 使用效率 气通道 控阀 灵活 | ||
1.一种真空吸附机构,其特征在于,包括气滑环和至少两主真空气路,每条主真空气路与所述气滑环上的不同气通道连通,每条主真空气路上都连通有气控阀。
2.根据权利要求1所述的真空吸附机构,其特征在于,所述气滑环具有四路气通道,所述主真空气路的数量有四条。
3.根据权利要求1所述的真空吸附机构,其特征在于,至少一主真空气路连通有至少两分真空气路。
4.根据权利要求3所述的真空吸附机构,其特征在于,至少一主真空气路和与其连通的分真空气路之间通过第一旋转接头连接。
5.根据权利要求4所述的真空吸附机构,其特征在于,所述第一旋转接头具有三路气通道,对应的主真空气路上连通的分真空气路的数量有三条。
6.根据权利要求3-5中任一所述的真空吸附机构,其特征在于,每条分真空气路连通有至少一吸盘。
7.根据权利要求6所述的真空吸附机构,其特征在于,至少一分真空气路和与其连通的吸盘之间通过第二旋转接头连接。
8.根据权利要求7所述的真空吸附机构,其特征在于,所述第二旋转接头具有一路气通道,对应的分真空气路上连通的吸盘的数量有一个。
9.一种抛光机,其特征在于,包括权利要求1-8中任一所述的真空吸附机构。
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