[实用新型]一种电流检测电路及多晶硅还原炉有效
申请号: | 201821614502.3 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN208805539U | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 谭兵 | 申请(专利权)人: | 四川英杰电气股份有限公司 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00;G01R31/02;G01R31/12;C01B33/035 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 冯精恒;李正 |
地址: | 618000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 电源开关 还原炉 电流检测器件 电源 检测 电阻 电流检测电路 电源开关控制 多晶硅还原炉 本实用新型 开关组 供电 硅粉 沉积 还原炉内壁 电源连接 还原炉体 接触状态 单独地 多晶硅 硅棒 停机 误报 保证 | ||
1.一种电流检测电路,其特征在于,包括第一电源开关、第二电源开关、开关组、电流检测器件和检测电阻;其中,所述第一电源开关用于控制第一电源为还原炉内的电极供电;所述第二电源开关用于控制第二电源为还原炉内的电极供电;所述检测电阻的一端分别通过所述第一电源开关和所述第二电源开关与第一电源和第二电源连接,其另一端与还原炉体连接;所述开关组中的每个开关分别连接一个还原炉内的电极,用于单独地控制第一电源为相应的电极供电;而且,所述电流检测器件用于检测所述检测电阻所在线路上通过的电流;通过所述电流检测器件检测到的电流,来判断还原炉内相应的电极与还原炉体之间的绝缘状态,以及判断还原炉内的电极处于硅粉沉积状态还是硅棒与还原炉内壁接触状态。
2.如权利要求1所述的电流检测电路,其特征在于,还包括用于控制所述第一电源开关、所述第二电源开关和所述开关组的开关状态的控制模块。
3.如权利要求2所述的电流检测电路,其特征在于,所述控制模块与所述电流检测器件连接。
4.如权利要求3所述的电流检测电路,其特征在于,所述控制模块根据所述电流检测器件检测到的电流,计算出绝缘电阻,再根据该绝缘电阻的大小,确定还原炉内相应的电极与还原炉体之间的绝缘状态。
5.如权利要求3所述的电流检测电路,其特征在于,所述控制模块通过计算所述电流监测器件检测的之前的电流信号与当前电流信号之间的变化幅度,确定还原炉内的电极处于硅粉沉积状态还是硅棒与还原炉内壁接触状态。
6.一种多晶硅还原炉,其特征在于,包括第一电源、第二电源以及如权利要求2~5任一项所述的电流检测电路。
7.如权利要求6所述的多晶硅还原炉,其特征在于,所述第一电源的输出特性呈高电压小电流,所述第二电源的输出特性呈低电压大电流。
8.如权利要求6所述的多晶硅还原炉,其特征在于,还包括报警模块,用于根据所述控制模块的控制,发出报警提示。
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