[实用新型]一种捡晶机顶针夹有效

专利信息
申请号: 201821613263.X 申请日: 2018-09-30
公开(公告)号: CN208819854U 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 丁培杰;陈志远;聂伟;姜红涛;曹文文;陈广顺 申请(专利权)人: 江苏汇成光电有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 董旭东
地址: 225128 江苏省扬州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 顶针 上座体 顶针孔 下座体 顶丝 本实用新型 安装座 顶丝孔 锁紧头 支撑杆 晶机 垂直 升降驱动机构 顶部表面 连接螺丝 轴线方向 弧形锁 水平度 锁紧面 倒置 取放 锁紧 下端 压靠 芯片 侧面 保证
【说明书】:

实用新型公开了芯片取放领域内的一种捡晶机顶针夹,包括安装座,安装座包括上座体和下座体,上座体的横截面为倒置的U形,下座体的横截面为T形,上座体和下座体通过至少两个连接螺丝固定连接,上座体的顶部开设有一排顶针孔,顶针孔的孔深为6.9~7.1mm,顶针孔内均插入有顶针,顶针长度为11.9~12.1mm,顶针下端触及顶针孔底部,顶针与上座体顶部表面相垂直,上座体侧面对应各顶针设有若干顶丝孔,顶丝孔内插入有顶丝,顶丝轴线与顶针相垂直,顶丝端部设有锁紧头,锁紧头上设有弧形锁紧面,锁紧面压靠在对应顶针上,锁紧头沿顶针轴线方向的高度为1~2mm;下座体底部固定连接有支撑杆,支撑杆与升降驱动机构相连。本实用新型能够保证顶针安装的水平度。

技术领域

本实用新型属于芯片取放领域,特别涉及一种捡晶机顶针夹。

背景技术

现有技术中,晶圆经过切割后,即进行黏晶的程序。此时每个晶粒 (或称芯片)相互之间为完全分离,且分别独立黏着于具有黏性的胶膜上。晶粒取放机台在吸取晶粒时,其于晶粒上方以一真空吸嘴吸取晶粒,同时胶膜下方将受到一顶针的推顶作用,而将晶粒顶出胶膜,以利真空吸嘴吸取晶粒,再经由机械动作,将晶粒置放于晶粒座上。其不足之处在于:现有的顶针夹在安装顶针时需要借助安装治具,安装治具在使用一段时间后会有一定的磨损,无法保障顶针安装的整体水平度;工作人员安装顶针的手法对顶针水平度的影响较大,无法确保每次都能将顶针安装水平;频繁的拆装会增加顶针夹在顶针杆内的磨损。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种捡晶机顶针夹,能够保证顶针水平安装在安装座上,保证顶针的水平度,确保顶针将晶粒水平顶出胶膜,提高设备运行稳定性。

本实用新型的目的是这样实现的:一种捡晶机顶针夹,包括安装座,所述安装座包括互相匹配的上座体和下座体,上座体的横截面为倒置的U形,下座体的横截面为T形,所述上座体和下座体通过至少两个连接螺丝固定连接,所述上座体的顶部开设有一排顶针孔,顶针孔的孔深为6.9~7.1mm,顶针孔内均插入有顶针,顶针长度为11.9~12.1mm,顶针下端触及顶针孔底部,顶针与上座体顶部表面相垂直,所述上座体侧面对应各顶针设有若干顶丝孔,顶丝孔内插入有顶丝,顶丝轴线与顶针相垂直,顶丝端部设有锁紧头,锁紧头上设有弧形锁紧面,锁紧面压靠在对应顶针上,锁紧头沿顶针轴线方向的高度为1~2mm;所述下座体底部固定连接有支撑杆,支撑杆与升降驱动机构相连。

本实用新型安装时,将多个顶针对应插入各顶针孔,通过水平的亚克力板压住顶针上端,将顶针下压,使得顶针下端接触顶针孔底部,顶针伸出上座体的部分长度约为5mm,分别将各顶丝旋拧到位,使得锁紧头的锁紧面压靠在对应顶针侧面,将顶针压紧,升降驱动机构带动支撑杆上下移动,顶针将晶粒顶出胶膜。与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:能够保证顶针水平安装在安装座上,保证顶针的水平度,确保顶针将晶粒水平顶出胶膜,提高设备运行稳定性;且顶针安装方便,十分省事。

作为本实用新型的进一步改进,所述下座体的凸起部分对应卡入上座体的内凹部分。通过连接螺丝将下座体的凸起部分与上座体固定相连,连接更加稳定。

作为本实用新型的进一步改进,所述上座体侧面错开设置有至少2排顶丝孔,顶丝孔为阶梯孔,顶丝孔包括大径段和小径段,锁紧头位于大径段内,顶丝位于小径段内。顶丝孔错开分布,顶丝孔分布更加合理。

作为本实用新型的进一步改进,所述顶丝为内六角螺丝。用内六角扳手卡入顶丝的螺丝孔内,旋转顶丝,将锁紧头的锁紧面压靠在顶针上。

作为本实用新型的进一步改进,所述支撑杆下端设有外螺纹,支撑杆螺纹连接在移动座上,移动座中部设有可容支撑杆插入的螺纹孔。

作为本实用新型的进一步改进,所述升降驱动机构包括气缸,气缸的活塞杆伸出端与移动座相连。气缸带动移动座上下移动,顶针夹实现上下升降。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

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