[实用新型]一种捡晶机顶针夹有效
| 申请号: | 201821613263.X | 申请日: | 2018-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN208819854U | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
| 发明(设计)人: | 丁培杰;陈志远;聂伟;姜红涛;曹文文;陈广顺 | 申请(专利权)人: | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
| 地址: | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 顶针 上座体 顶针孔 下座体 顶丝 本实用新型 安装座 顶丝孔 锁紧头 支撑杆 晶机 垂直 升降驱动机构 顶部表面 连接螺丝 轴线方向 弧形锁 水平度 锁紧面 倒置 取放 锁紧 下端 压靠 芯片 侧面 保证 | ||
本实用新型公开了芯片取放领域内的一种捡晶机顶针夹,包括安装座,安装座包括上座体和下座体,上座体的横截面为倒置的U形,下座体的横截面为T形,上座体和下座体通过至少两个连接螺丝固定连接,上座体的顶部开设有一排顶针孔,顶针孔的孔深为6.9~7.1mm,顶针孔内均插入有顶针,顶针长度为11.9~12.1mm,顶针下端触及顶针孔底部,顶针与上座体顶部表面相垂直,上座体侧面对应各顶针设有若干顶丝孔,顶丝孔内插入有顶丝,顶丝轴线与顶针相垂直,顶丝端部设有锁紧头,锁紧头上设有弧形锁紧面,锁紧面压靠在对应顶针上,锁紧头沿顶针轴线方向的高度为1~2mm;下座体底部固定连接有支撑杆,支撑杆与升降驱动机构相连。本实用新型能够保证顶针安装的水平度。
技术领域
本实用新型属于芯片取放领域,特别涉及一种捡晶机顶针夹。
背景技术
现有技术中,晶圆经过切割后,即进行黏晶的程序。此时每个晶粒 (或称芯片)相互之间为完全分离,且分别独立黏着于具有黏性的胶膜上。晶粒取放机台在吸取晶粒时,其于晶粒上方以一真空吸嘴吸取晶粒,同时胶膜下方将受到一顶针的推顶作用,而将晶粒顶出胶膜,以利真空吸嘴吸取晶粒,再经由机械动作,将晶粒置放于晶粒座上。其不足之处在于:现有的顶针夹在安装顶针时需要借助安装治具,安装治具在使用一段时间后会有一定的磨损,无法保障顶针安装的整体水平度;工作人员安装顶针的手法对顶针水平度的影响较大,无法确保每次都能将顶针安装水平;频繁的拆装会增加顶针夹在顶针杆内的磨损。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种捡晶机顶针夹,能够保证顶针水平安装在安装座上,保证顶针的水平度,确保顶针将晶粒水平顶出胶膜,提高设备运行稳定性。
本实用新型的目的是这样实现的:一种捡晶机顶针夹,包括安装座,所述安装座包括互相匹配的上座体和下座体,上座体的横截面为倒置的U形,下座体的横截面为T形,所述上座体和下座体通过至少两个连接螺丝固定连接,所述上座体的顶部开设有一排顶针孔,顶针孔的孔深为6.9~7.1mm,顶针孔内均插入有顶针,顶针长度为11.9~12.1mm,顶针下端触及顶针孔底部,顶针与上座体顶部表面相垂直,所述上座体侧面对应各顶针设有若干顶丝孔,顶丝孔内插入有顶丝,顶丝轴线与顶针相垂直,顶丝端部设有锁紧头,锁紧头上设有弧形锁紧面,锁紧面压靠在对应顶针上,锁紧头沿顶针轴线方向的高度为1~2mm;所述下座体底部固定连接有支撑杆,支撑杆与升降驱动机构相连。
本实用新型安装时,将多个顶针对应插入各顶针孔,通过水平的亚克力板压住顶针上端,将顶针下压,使得顶针下端接触顶针孔底部,顶针伸出上座体的部分长度约为5mm,分别将各顶丝旋拧到位,使得锁紧头的锁紧面压靠在对应顶针侧面,将顶针压紧,升降驱动机构带动支撑杆上下移动,顶针将晶粒顶出胶膜。与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:能够保证顶针水平安装在安装座上,保证顶针的水平度,确保顶针将晶粒水平顶出胶膜,提高设备运行稳定性;且顶针安装方便,十分省事。
作为本实用新型的进一步改进,所述下座体的凸起部分对应卡入上座体的内凹部分。通过连接螺丝将下座体的凸起部分与上座体固定相连,连接更加稳定。
作为本实用新型的进一步改进,所述上座体侧面错开设置有至少2排顶丝孔,顶丝孔为阶梯孔,顶丝孔包括大径段和小径段,锁紧头位于大径段内,顶丝位于小径段内。顶丝孔错开分布,顶丝孔分布更加合理。
作为本实用新型的进一步改进,所述顶丝为内六角螺丝。用内六角扳手卡入顶丝的螺丝孔内,旋转顶丝,将锁紧头的锁紧面压靠在顶针上。
作为本实用新型的进一步改进,所述支撑杆下端设有外螺纹,支撑杆螺纹连接在移动座上,移动座中部设有可容支撑杆插入的螺纹孔。
作为本实用新型的进一步改进,所述升降驱动机构包括气缸,气缸的活塞杆伸出端与移动座相连。气缸带动移动座上下移动,顶针夹实现上下升降。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





