[实用新型]真空吸附装置

说明书

本实用新型涉及划片机技术领域，公开了真空吸附装置，包括上盖板和下底板，下底板上设有上盖板，其特征在于：上盖板与下底板之间设有第一空腔、第二空腔和第三空腔，第一空腔内设有第一气管，第一气管连接有第一电磁阀，第二空腔内设有第二气管，第二气管连接有第二电磁阀，第三空腔内设有第三气管，第三气管连接有第三电磁阀；上盖板上设有第一气孔、第二气孔和第三气孔，第一气孔与第一空腔相通，第二气孔与第二空腔相通，第三气孔与第三空腔相通。本实用新型具有有效将加工工件固定住、提升加工工件的合格率的优点。

技术领域

本实用新型涉及划片机技术领域，尤其涉及了真空吸附装置。

背景技术

激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化，从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，且热影响极小，划精度高，广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割，可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等，工件精细美观，切边光滑。

通常激光划片机的载物台是用于放置被加工物品的，将需要加工的工件放置于载物台的上方，采用激光器作为工作光源，以进行曲线及直线图形切割。但是常规的载物台没有吸附功能，工件在载物台上容易发生位置偏移，导致切割出来的划槽发生歪斜，进而造成工件报废，因此需要研发一种真空吸附装置代替载物台，从而将工件固定住。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中加工工件容易发生移动的缺点，提供了真空吸附装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

真空吸附装置，包括上盖板和下底板，下底板上设有上盖板，上盖板与下底板之间设有第一空腔、第二空腔和第三空腔，第一空腔内设有第一气管，第一气管连接有第一电磁阀，第二空腔内设有第二气管，第二气管连接有第二电磁阀，第三空腔内设有第三气管，第三气管连接有第三电磁阀；上盖板上设有第一气孔、第二气孔和第三气孔，第一气孔与第一空腔相通，第二气孔与第二空腔相通，第三气孔与第三空腔相通。

作为优选，第一空腔包括第一竖向通道、第一横向通道和第二竖向通道，第一气管设置在第一竖向通道上，第一竖向通道与第一横向通道连通，第一横向通道两端与第二竖向通道连通。

作为优选，第二空腔包括第一通道单元和第二通道单元，第一通道单元和第二通道单元连通，第一通道单元包括第三竖向通道、第二横向通道、第四竖向通道和第三横向通道，第二气管设置在第三竖向通道上，第三竖向通道与第二横向通道连通，第二横向通道两端与第四竖向通道连通，第三横向通道两端与第四竖向通道连通；第二通道单元包括至少一组吸气通道，相邻的吸气通道相互连接，吸气通道与第四竖向通道相通。

作为优选，吸气通道包括第五竖向通道和第四横向通道，第五竖向通道与第四横向通道连通，第四横向通道与相邻的第五竖向通道连通。

作为优选，第三空腔包括第六竖向通道、第五横向通道、第七竖向通道和第六横向通道，第三气管设置第六竖向通道上，第六竖向通道与第五横向通道连通，第五横向通道两端与第七竖向通道连通，第六横向通道两端与第七竖向通道连通。

本实用新型由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀分别与抽气泵连接，通过控制第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀，分别打开抽气泵与第一气管、第二气管、第三气管的通气道，从而使第一空腔、第二空腔、第三空腔内形成负压，第一空腔、第二空腔、第三空腔分别与第一气孔、第二气孔、第三气孔相通，由于加工工件被放置在第一气孔或第二气孔或第三气孔上，加工工件在负压的作用下被吸附，在激光器加工时提升加工工件的稳定性，防止加工工件发生偏移，有利于提升加工产品的合格率，降低加工工件的报废率。本实用新型具有有效将加工工件固定住、提升加工工件的合格率的优点。