[实用新型]激光划片一体机

说明书

本实用新型涉及划片机技术领域，公开了激光划片一体机，包括箱体(1)，箱体(1)内设有工作台(2)，工作台(2)包括下平台(203)、支撑块(202)和上平台(201)，下平台(203)上设有支撑块(202)，支撑块(202)上设有上平台(201)，上平台(201)上设有Z轴运动模组(12)和折射镜固定板(11)，Z轴运动模组(12)上设有支架(14)，支架(14)上设有激光扫描振镜(13)和气缸滑台组件(15)，气缸滑台组件(15)上设有第二反射镜(17)，折射镜固定板(11)上设有第一反射镜(16)，上平台(201)上还设有激光器(10)和反射镜组(18)。本实用新型具有能在一台机器上完成激光切割和激光打标、提升加工效率、降低占地面积的优点。

技术领域

本实用新型涉及划片机技术领域，尤其涉及了激光划片一体机。

背景技术

激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化，从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，且热影响极小，划精度高，广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割，可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等，工件精细美观，切边光滑。当加工产品在激光划片机上被切割后，通常还需要转移到安装有激光扫描振镜的机器上进行激光打标，因此需要在两台机器上分布操作，存在加工产品转移麻烦、操作手续繁琐、加工效率低的缺点，并且两台机器也存在占地面积大的问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中加工产品转移麻烦、操作手续繁琐、加工效率低的缺点，提供了激光划片一体机。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

激光划片一体机，包括箱体，箱体内设有工作台，工作台包括下平台、支撑块和上平台，下平台上设有支撑块，支撑块上设有上平台，上平台上设有Z轴运动模组和折射镜固定板，Z轴运动模组上设有支架，支架上设有激光扫描振镜和气缸滑台组件，气缸滑台组件上设有第二反射镜，折射镜固定板上设有第一反射镜，上平台上还设有激光器和反射镜组，反射镜组用于接收激光器发射的激光，第一反射镜用于接收反射镜组的反射光，第二反射镜用于接收第一反射镜的反射光，激光扫描振镜用于接收第二反射镜的反射光。

作为优选，气缸滑台组件包括滑座、气缸和滑块，滑座上设有气缸，气缸驱动滑块在滑座上移动，滑块上设有第二反射镜；支架包括第一板体和第二板体，激光扫描振镜和气缸滑台组件分别设置在第一板体的两端，第一板体上设有第二板体，第二板体上设有圆孔，第二反射镜的反射光穿过圆孔后被激光扫描振镜接收。

作为优选，Z轴运动模组上还设有定位板，定位板上设有激光切割头，定位板上还设有通孔，第一反射镜的反射光穿过通孔后被激光切割头接收。气缸驱动滑块在滑座上移动，从而气缸驱动滑块上的第二反射镜移动，当第二反射镜移动到第一反射镜的正下方时，激光器发射的激光经反射镜组、第一反射镜和第二反射镜的反射后，被激光扫描振镜接收，从而通过激光扫描振镜工作；当第二反射镜移动并离开第一反射镜的正下方时，由于没有第二反射镜的遮挡，激光器发射的激光经反射镜组和第一反射镜的反射后，被激光切割头接收，从而通过激光切割头工作；因此通过气缸滑台组件驱动第二反射镜移动，从而能选择激光扫描振镜或激光切割头工作，在同一台机器中能完成激光切割和激光打标，从而不需要将加工产品转移到另外一台机器，减少了加工工件转移的操作步骤，提升了机器的加工效率，并且能减少机器的占地面积，降低土地的使用面积，从而节约了产品的制造成本。

作为优选，反射镜组包括第三反射镜和第四反射镜，第三反射镜用于接收激光器发射的激光，第四反射镜用于接收第三反射镜的反射光，第一反射镜用于接收第四反射镜的反射光。