[实用新型]一种激光划片装置

权利要求书

1.一种激光划片装置，其特征在于：包括工作台(2)，工作台(2)包括下平台(203)和上平台(201)，下平台(203)上设有上平台(201)，上平台(201)上设有Z轴运动模组(12)和折射镜固定板(11)，Z轴运动模组(12)上设有多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)，折射镜固定板(11)上设有第一反射镜(16)和第二反射镜(19)，上平台(201)上还设有划片激光器(9)、第一反射镜组(6)、裂片激光器(10)和第二反射镜组(15)，第一反射镜组(6)用于接收划片激光器(9)发射的激光，第一反射镜(16)用于接收第一反射镜组(6)的反射光，第二反射镜组(15)用于接收裂片激光器(10)发射的激光，第二反射镜(19)用于接收第二反射镜组(15)的反射光；下平台(203)上设有X/Y轴运动模组(8)，X/Y轴运动模组(8)上设有载物台(7)，载物台(7)位于多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)的下方；X/Y轴运动模组(8)包括X轴运动模组(801)和Y轴运动模组(802)，X轴运动模组(801)设置在下平台(203)上，X轴运动模组(801)上设有Y轴运动模组(802)，Y轴运动模组(802)上设有载物台(7)，X轴运动模组(801)上设有第一光栅尺(8011)，第一光栅尺(8011)用于监测X轴运动模组(801)的位移数据，Y轴运动模组(802)上设有第二光栅尺(8021)，第二光栅尺(8021)用于监测Y轴运动模组(802)的位移数据。

2.根据权利要求1所述的一种激光划片装置，其特征在于：Z轴运动模组(12)上还设有定位板(17)，多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)设置在定位板(17)上，定位板(17)上还设有第一通孔(1701)和第二通孔(1702)，第一反射镜(16)的反射光穿过第一通孔(1701)后被多焦点聚焦头(18)接收，第二反射镜(19)的反射光穿过第二通孔(1702)后被激光裂片聚焦头(20)接收。

3.根据权利要求1所述的一种激光划片装置，其特征在于：第一反射镜组(6)包括第三反射镜(4)和第四反射镜(5)，第三反射镜(4)用于接收划片激光器(9)发射的激光，第四反射镜(5)用于接收第三反射镜(4)的反射光，第一反射镜(16)用于接收第四反射镜(5)的反射光。

4.根据权利要求1所述的一种激光划片装置，其特征在于：第二反射镜组(15)包括第五反射镜(13)和第六反射镜(14)，第五反射镜(13)用于接收裂片激光器(10)发射的激光，第六反射镜(14)用于接收第五反射镜(13)的反射光，第二反射镜(19)用于接收第六反射镜(14)的反射光。

5.根据权利要求1所述的一种激光划片装置，其特征在于：工作台(2)上设有钢构机架(3)，钢构架构包括垫脚(305)、下框架(304)、底板(303)、立柱(302)和上框架(301)，垫脚(305)上设有下框架(304)，下框架(304)通过立柱(302)与上框架(301)连接，上框架(301)与工作台(2)连接，下框架(304)上设有底板(303)；工作台(2)为大理石制成的工作台(2)，垫脚(305)的数量为4个，立柱(302)的数量为4个。