[实用新型]一种氧化喷淋装置有效
| 申请号: | 201821606075.4 | 申请日: | 2018-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN208862006U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
| 发明(设计)人: | 崔水炜;万肇勇;黄登强;吴章平 | 申请(专利权)人: | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱静谦 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 喷淋腔体 喷淋装置 臭氧输送管路 排风口 排风罩 喷淋孔 流水线 本实用新型 臭氧输送管 二氧化硅膜 生产流水线 臭氧出口 电位诱导 封闭空间 排风风机 中空腔体 硅电池 喷淋腔 硅片 喷淋 衰减 臭氧 接通 电池 体内 | ||
1.一种氧化喷淋装置,其特征在于,包括:
喷淋腔体(1),为设于电池流水线的中空腔体,所述喷淋腔体(1)内具有臭氧输送管路(2),所述臭氧输送管路(2)上具有若干臭氧出口,所述喷淋腔体(1)朝向所述流水线具有均匀分布的喷淋孔(3);
排风罩(4),对应所述喷淋腔体(1)设置,与所述喷淋腔体(1)共同组成封闭空间,所述排风罩(4)设有排风口(5),所述排风口(5)与排风风机接通。
2.根据权利要求1中所述的氧化喷淋装置,其特征在于,所述喷淋腔体(1)和所述排风罩(4)为中空长方体,其长度方向沿所述流水线设置。
3.根据权利要求2中所述的氧化喷淋装置,其特征在于,所述臭氧输送管路(2)为两条。
4.根据权利要求3中所述的氧化喷淋装置,其特征在于,各所述臭氧输送管路(2)平行设置。
5.根据权利要求1中所述的氧化喷淋装置,其特征在于,所述喷淋腔体(1)具有风刀面板(6),所述喷淋孔(3)均匀设于所述风刀面板(6),所述风刀面板(6)高度可调。
6.根据权利要求5中所述的氧化喷淋装置,其特征在于,所述喷淋腔体(1)内沿厚度方向设有若干不同高度的格挡(7),所述风刀面板(6)通过与不同高度的所述格挡(7)卡接调节高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





