[实用新型]一种光源检测设备

说明书

本实用新型提供一种光源检测设备，包括电气柜底座、中部遮光组件、工作区组件和上罩遮光组件。所述电气柜底座、中部遮光组件和工作区组件自下而上依次层叠设置，所述上罩遮光组件罩设在所述工作区组件上；所述工作区组件包括有X轴电机丝杆系统、光照强度数据采集板、光源夹紧固定装置、光源压紧固定装置、角度仪滑台、手摇Z轴丝杆装置、R轴回转滑台和Y轴电机丝杆系统。本检测设备可兼容不同形状，不同大小的标准光源，扩大了检测对象的范围；密闭性好，测试时无杂光干涉，测试结果更准确；标准光源与采光组件之间的平行度可调，测试结果更加精准；自动化操作，测试效率高，电机丝杆系统驱动，精度高；安全性高。

技术领域

本实用新型涉及一种自动检测设备，尤其是涉及一种光源检测设备。所述设备主要用于检测半导体行业标准光源光照强度的一致性。

背景技术

光学类芯片量产测试需要使用标准光源，制作好的标准光源在使用前和使用过程都需要定期检测。目前市场上都是以手动检测为主，把光源固定在一定高度，通过手移动光照强度数据采集板对光源的光照强度参数进行采集。

但是，手动测试存在有如下主要缺点：①由于手动，所以测试效率慢，精度差；②由于手动，所以操作环境无法保证为全密封环境，其它光会影响测试结果；③光源与光照强度数据采集板之间的距离不可调，导致无法兼容各种规格的光源产品。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光源检测设备，具体方案如下：

一种光源检测设备，所述检测设备包括电气柜底座、中部遮光组件、工作区组件和上罩遮光组件；

所述电气柜底座、中部遮光组件和工作区组件自下而上依次层叠设置，所述上罩遮光组件罩设在所述工作区组件上；

所述工作区组件包括有X轴电机丝杆系统、光照强度数据采集板、光源夹紧固定装置、角度仪滑台、手摇Z轴丝杆装置、R轴回转滑台和Y轴电机丝杆系统。

优选的，所述光源夹紧固定装置通过所述R轴回转滑台和角度仪滑台固定设置在手摇Z轴丝杆装置上，所述光源夹紧固定装置用于固定标准光源；所述光照强度数据采集板设置于所述标准光源下方；

所述手摇Z轴丝杆装置能够调节标准光源与光照强度数据采集板之间的距离；所述角度仪滑台和R轴回转滑台能够调节标准光源与光照强度数据采集板之间的平行度；所述X轴电机丝杆系统和Y轴电机丝杆系统能够驱动光照强度数据采集板移动，并对标准光源进行步进式自动采光。

优选的，所述中部遮光组件包括相互扣合的左遮光罩和右遮光罩。

优选的，所述中部遮光组件的侧面设置有操作面板，所述操作面板包括有外接插座、急停开关和两档开关。

优选的，所述外接插座包括外部通讯RS232插座和USB插座。

优选的，所述上罩遮光组件包括有前遮光罩，后遮光罩，弹簧卡扣和把手，所述弹簧卡扣将前遮光罩、后遮光罩和中部遮光组件之间互相拉紧。

优选的，所述左遮光罩和右遮光罩上表面贴有黑色吸光泡棉，上罩遮光组件内部贴有黑色吸光泡棉。

优选的，所述前遮光罩、后遮光罩和中部遮光组件的开口边缘部位均设置有密封条。

优选的，所述光源检测设备还包括有光源压紧固定装置，所述光源压紧固定装置与所述R轴回转滑台可拆卸连接。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

(1)、本实用新型的光源检测设备装有光源夹紧装置和光源压紧装置，可兼容不同形状，不同大小的标准光源，扩大了检测对象的范围。

(2)、通过密封条、吸光泡棉和弹簧卡扣的相互配合，使本实用新型光源检测设备密闭性好，测试时无杂光干涉，测试结果更准确。