[实用新型]一种高效真空磁控溅射设备

权利要求书

1.一种高效真空磁控溅射设备，其特征在于：包括真空溅射室、设置在真空溅射室内的靶材，靶材的下方设有上遮挡板(3)，靶材的下方设有下遮挡板(4)，靶材的两侧设有侧遮挡板(5)，下遮挡板(4)上设有若干截面呈长方形且相互平行的第一导粉通孔(41)，下遮挡板(4)的下方设有粉末收集盒(6)，粉末收集盒(6)内设有粉末清除机构，粉末清除机构包括设于下遮挡板(4)上且相互平行的第二导粉通孔(42)和第三导粉通孔(43)，第二导粉通孔(42)长度方向与第一导粉通孔(41)的长度方向相垂直，第二导粉通孔(42)位于第一导粉通孔(41)的一端，第三导粉通孔(43)位于第一导粉通孔(41)的另一端，第二导粉通孔(42)、第三导粉通孔(43)均与各第一导粉通孔(41)相连通，粉末清除机构还包括除粉擦(7)，除粉擦(7)与第一导粉通孔(41)一一对应，除粉擦(7)的下表面与下遮挡板(4)的上表面相贴合，除粉擦(7)的下方设有驱动除粉擦(7)沿第一导粉通孔(41)的长度方向在第二导粉通孔(42)与第一导粉通孔(41)之间往复直线运动的驱动机构(8)。

2.根据权利要求1所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：驱动机构(8)包括若干移动分杆(81)和一个连接各移动分杆(81)的移动总杆(82)，移动分杆(81)与除粉擦(7)一一对应，移动分杆(81)的上端穿过第一导粉通孔(41)与除粉擦(7)固定连接，移动分杆(81)的下端位于粉末收集盒(6)内，移动总杆(82)与移动分杆(81)的下端固定连接，粉末收集盒(6)的外壁上设有气缸(83)，气缸(83)的伸缩杆穿过粉末收集盒(6)的侧壁与移动总杆(82)固定连接以驱动移动总杆(82)沿第一导粉通孔(41)的长度方向往复直线运动。

3.根据权利要求1或2所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：第一导粉通孔(41)共有六个，第一导粉通孔(41)的长度方向与下遮挡板(4)的宽度方向相同。

4.根据权利要求2所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：第一导粉通孔(41)的横截面呈上大下小的梯形，移动分杆(81)的直径小于第一导粉通孔(41)的最下端的宽度。

5.根据权利要求1或2所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：各除粉擦(7)位于同一条直线上，相邻的除粉擦(7)之间无间隙，除粉擦(7)的下表面设有刷毛(71)。

6.根据权利要求1所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：上遮挡板(3)的内表面均匀分布有多个尖刺状的凸起(31)。

7.根据权利要求1所述的高效真空磁控溅射设备，其特征在于：粉末收集盒(6)的材质为透明的亚克力板。