[实用新型]蒸镀加热系统及蒸镀系统

说明书

本申请涉及一种蒸镀加热系统，其包括容器、加热装置、激光液位监测装置和控制装置。所述加热装置和所述激光液位监测装置均设置于所述容器。所述激光液位监测装置用于监测液态金属液位。所述控制装置与所述加热装置和所述激光液位监测装置连接，用于接收所述激光液位监测装置监测的液位信号，并发送控制指令至所述加热装置。本申请提供的所述蒸镀加热系统提高了液面监控的准确性，从而提高了加热温度控制的准确性，进而提高了所述液态金属蒸发速率控制的准确性，提高蒸镀质量。

技术领域

本申请涉及蒸镀领域，特别是涉及一种蒸镀加热系统及蒸镀系统。

背景技术

液态金属是化学生产过程及研究中常用到的材料，例如：ADS、蒸镀、溅射等均需要用到液态金属。

蒸镀是制造薄膜太阳能电池的一道重要工序。蒸镀是在真空条件下，将金属液化蒸镀在薄膜基材的表面，而形成金属薄膜的一种工艺。共蒸渡是指对多种金属源同时蒸发，以形成复合金属薄膜的一种工艺，为得到预定结构和组成的复合金属薄膜，共蒸镀过程中，需要对金属源的金属液面位置的变化进行监控，以保证对金属的蒸发速率和液态金属余量的可控。

传统技术通过控制蒸镀加热温度来控制蒸镀过程中的蒸发速率等。但是，传统技术对蒸镀加热时液面的监控并不精确。

实用新型内容

针对以上技术问题，本申请提供一种蒸镀加热系统及蒸镀系统。

一种蒸镀加热系统，包括：

容器，用于放置液态金属；

加热装置，设置于所述容器，用于加热所述液态金属；

激光液位监测装置，设置于所述容器，用于监测液态金属液位；

控制装置，与所述加热装置和所述激光液位监测装置连接，用于接收所述激光液位监测装置监测的液位信号，并发送控制指令至所述加热装置。

在其中一个实施例中，所述控制装置包括：

液位采集器，所述液位采集器与所述激光液位监测装置连接，用于采集所述液态金属液位信息；

处理器，所述处理器与所述液位采集器连接，用于接收、处理所述液态金属液位信息，并计算、输出控制信息；

控制器，所述控制器与所述处理器和所述加热装置连接，用于根据所述控制信息控制所述加热装置。

在其中一个实施例中，所述激光液位监测装置包括：

激光发射器，设置于所述容器，用于向所述液态金属液面发射激光；

激光接收器，设置于所述容器，用于接收经所述液态金属液面反射的激光，所述激光接收器与所述控制装置连接。

在其中一个实施例中，所述激光液位监测装置还包括：

光电转换器，与所述激光接收器和所述控制装置连接，用于将光信号转换为电信号。

在其中一个实施例中，所述激光发射器和所述激光接收器分别设置于所述容器相对的两个侧壁。

在其中一个实施例中，所述容器与所述激光发射器相对的一侧设置窗体，所述激光接收器设置于所述窗体远离所述激光发射器的一侧。

在其中一个实施例中，所述蒸镀加热系统还包括：

温度监测装置，设置于所述容器，所述温度监测装置与所述控制装置连接，用于监测所述液态金属的温度。

在其中一个实施例中，所述蒸镀加热系统还包括：

液位报警装置，所述液位报警装置与所述控制装置连接，用于当所述液态金属液位低于预设阈值时报警。