[实用新型]用于靶材的旋转支撑系统

说明书

本申请公开了用于靶材的旋转支撑系统，包括：动力旋转装置和滑动锁紧装置；所述滑动锁紧装置包括第一旋转结构、滑动平台、滑轨、锁紧机构和动力单元，所述滑动平台滑动安装于所述滑轨上，所述锁紧机构设置于所述滑动平台上，所述第一旋转结构的一端与所述滑动平台固定连接，所述第一旋转结构的另一端与靶材的一端连接，所述动力旋转装置的输出端与所述靶材的另一端连接。本申请通过动力单元带动滑动平台沿着滑轨运动，使设置于滑动平台上的第一旋转结构向前运动，进而通过第一旋转结构将靶材顶紧于动力旋转装置上，当靶材固定时滑动平台将无法向前移动，无需人为的对靶材是否固定进行判断，解决了现有技术中无法精确确定靶材是否固定的问题。

技术领域

本申请涉及磁控溅射技术领域，尤其涉及一种用于靶材的旋转支撑系统。

背景技术

靶材是磁控溅射领域的核心原材料，靶材制备技术主要有熔炼铸造法、低温气动力喷涂和气氛保护等离子喷涂等。

目前靶材在喷涂工艺中采用的支撑装置包括固定装置，导轨以及移动夹具，固定装置的一端固定于桌面上，移动夹具滑动安装于导轨上。在装载靶材时通过手动移动移动夹具的方式，达到将靶材支撑在固定装置和移动夹之间的效果。上述支撑装置在将移动夹具向前移动时，是通过人为判断移动夹具所处的位置点是否已经支撑到靶材，然后再手动锁住该导轨上的移动夹具，达到固定工件的效果。

可见，上述人工固定过程中，无法精确确定固定在固定装置与移动夹具之间的靶材是否真正固定、是否存在松动的现象，容易造成靶材固定不稳定的问题，存在潜在的风险，其操作较复杂。

实用新型内容

本申请实施例提供一种用于靶材的旋转支撑系统以解决上述问题。

本申请实施例采用下述技术方案：

本申请实施例提供了一种用于靶材的旋转支撑系统，包括：

动力旋转装置和滑动锁紧装置，所述靶材安装在所述动力旋转装置和滑动锁紧装置之间；

所述滑动锁紧装置包括第一旋转结构、滑动平台、滑轨、锁紧机构和动力单元，所述滑动平台滑动安装于所述滑轨上，所述动力单元用于驱动所述滑动平台沿所述滑轨移动，所述锁紧机构设置于所述滑动平台上，所述锁紧机构用于将所述滑动平台相对所述滑轨锁止，所述第一旋转结构的一端与所述滑动平台固定连接，所述第一旋转结构的另一端与靶材的一端连接，所述动力旋转装置的输出端与所述靶材的另一端连接。

优选地，上述的用于靶材的旋转支撑系统，所述动力单元包括气缸和控制箱；所述控制箱设置于所述滑轨上，所述气缸与所述控制箱、所述滑动平台相连接，所述控制箱用于控制所述气缸伸缩。

优选地，上述的用于靶材的旋转支撑系统，还包括：滑动杆和设置于所述滑动平台上的固定板，所述固定板上设置有限位槽，所述控制箱设置于所述固定板上，所述滑动杆的一端与邻近的所述滑轨连接，所述滑动杆的另一端与所述限位槽滑动连接。

优选地，上述的用于靶材的旋转支撑系统，所述锁紧机构包括：基座、支撑部、锁止轴和把手，所述把手铰接于所述支撑部的第一端，所述基座内部设置有第一轴孔，所述支撑部设置于所述固定板上，所述支撑部内部设置有第二轴孔，所述锁止轴穿设于所述第二轴孔内，并且所述锁止轴的一端伸出所述支撑部的第一端与所述把手连接，所述锁止轴的另一端穿过所述支撑部的第二端能够插入所述第一轴孔内，所述第一轴孔和所述第二轴孔相对设置，所述把手用于带动所述锁止轴沿所述第一轴孔的轴线的长度方向移动，所述支撑部的第一端和所述支撑部的第二端相对设置。

优选地，上述的用于靶材的旋转支撑系统，第一旋转结构端部设置有用于安装靶材的第一凸起。

优选地，上述的用于靶材的旋转支撑系统，所述动力旋转装置包括依次相连接的驱动电机、减速机、联轴器和第二旋转结构，在所述第二旋转结构端部设置有用于安装靶材的所述输出端，所述输出端为第二凸起。