[实用新型]一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置

说明书

本实用新型涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，利用本实用新型可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，结果精准，省时省力，工作效率高，具有广阔的应用前景。

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置。

背景技术

太阳能电池刻蚀抛光工艺是太阳能高效电池制造工艺中至关重要的一步，对成品电池片的电性能以及EL良率有着重大的影响，刻蚀后硅片背面反射率的均匀性决定了背钝化镀膜的均匀性，镀膜的均匀性决定了激光开孔率及大小的均匀性。因此刻蚀在整个晶硅太阳能电池生产过程中起着举足轻重的作用。

链式多晶酸刻蚀是太阳能电池制造工艺中的一种常见方式，现有链式多晶酸刻蚀设备主要采用5-8-10道同时运行，湿法酸刻蚀是通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的PN结，以达到正面和背面绝缘的目的，同时去除正面的磷硅玻璃层。硅片与酸的不同程度反应减重也会有波动，从而造成刻蚀不均匀，最终影响良品率。减重的大小成为影响产品良品率的一个关键因素，因而现有晶硅太阳能电池生产产线上需要专门设置称重人员及时称量减重情况，以便能够准确把握各道实时减重情况，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率。虽然这种方式可以一定程度上改善刻蚀不稳定所造成的差异，但是由于现有称重方式为人工称量，这种操作方式不但费时费力，劳动强度大，工作效率低，而且人工称重极易因长时间工作造成视觉疲乏，从而产生漏称，更重要的是，人工称重方式由于不同的称重人员之间存在差异，导致称重结果统一性较差，影响产品良品率。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术中测试条件的不足，提供一种省时省力、工作效率高、称重结果稳定的链式多晶酸刻蚀自动称重装置。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，用于对刻蚀槽内的硅片刻蚀减重进行称量，所述刻蚀槽设有进料端和出料端，其特征在于，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数。

优选的，本发明中所述第一称重器和第二称重器均为电子天平。

优选的，本发明中所述读数机构为具有数据处理软件的通用计算机。

优选的，本发明中所述读数机构为专用数据处理器。

优选的，本发明中所述进料端设有上料机械手，所述出料端设有下料机械手。

优选的，本发明中所述上料机械手上设有上料吸盘，所述下料机械手上设有下料吸盘。