[实用新型]一种水刀装置有效
| 申请号: | 201821572938.0 | 申请日: | 2018-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN208866055U | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
| 发明(设计)人: | 罗文滨;刘梦梦;魏杰 | 申请(专利权)人: | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
| 地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 喷嘴 长条缝 清洗 本实用新型 从动皮带轮 喷管 入水管道 水刀装置 水刀 喷嘴清洗装置 电机固定架 驱动皮带轮 长条缝隙 出口压力 传动皮带 化学试剂 晶圆清洗 喷管喷嘴 清洗装置 湿式制程 套装结构 圆形喷孔 转动轴承 装置外壳 不均匀 出水量 传统的 浸泡式 均匀性 喷嘴喷 外喷管 转动轴 转接器 喷孔 入水 水幕 轴承 半导体 电机 外部 改进 保证 | ||
1.一种水刀装置,包括传动皮带(1)、转动轴承(2)、驱动皮带轮(3)、从动皮带轮(4)、轴承(5)、水刀(6)、入水管道(7)、入水转接器(8)、水刀入水管道(9)、装置外壳(10)、电机固定架(11)、电机(12)以及从动皮带轮转动轴(13),其特征在于,所述电机(12)通过电机固定架(11)固定于装置外壳(10)下端,所述驱动皮带轮(3)安装于转动轴承(2)一端,所述转动轴承(2)另一端与电机(12)输出轴承连接,所述从动皮带轮(4)安装于从动皮带轮转动轴(13)一端,所述从动皮带轮转动轴(13)另一端穿过轴承(5)与水刀(6)一端连接,所述轴承(5)安装于装置外壳(10)一侧,所述传动皮带(1)连接驱动皮带轮(3)与从动皮带轮(4),所述水刀(6)设于装置外壳(10)内侧,所述水刀入水管道(9)连接水刀(6)无从动皮带轮转动轴(13)的一端,所述水刀入水管道(9)穿过轴承(5)与入水转接器(8)连接,所述入水转接器(8)固定于装置外壳(10)上,所述水转接器(8)上连接有入水管道(7);
所述入水转接器(8)用于将旋转入水管道与固定入水管道分开,所述水刀入水管道(9)为旋转管道,所述入水管道(7)为固定管道。
2.根据权利要求1所述的一种水刀装置,其特征在于,所述水刀(6)包括内部喷管(61)、内部喷管出水孔(62)、外部喷管(63)以及外部喷水口(64),外部喷管(63)的内径大于内部喷管(61)的外径,两管同轴心配合,所述内部喷管(61)一端设于外部喷管(63)内部,另一端设于外部喷管(63)外侧且连接水刀入水管道(9),所述内部喷管出水孔(62)为圆形且一字排开均匀分布于内部喷管(61)位于外部喷管(63)内部一端的管道上,所述外部喷水口(64)设于外部喷管(63)外侧,所述外部喷水口(64)喷嘴为一个长条的细缝,所述内部喷管出水孔(62)与外部喷水口(64)的喷嘴的位置正好相对;
所述外部喷管(63)无内部喷管(61)的一端外侧连接有从动皮带轮转动轴(13)。
3.根据权利要求1所述的一种水刀装置,其特征在于,所述入水转接器(8)包括出水管道接头(81)、轴承内环(82)、入水管道接头(83)、入水转接器外壳(84)、密封圈(85)以及轴承外环(86),所述出水管道接头(81)安装于轴承内环(82)内侧壁上,所述轴承外环(86)固定于入水转接器外壳(84)侧壁上,所述轴承外环(86)与轴承内环(82)配套安装组成转动轴承,所述转动轴承外侧设有密封圈(85),所述入水管道接头(83)安装于入水转接器外壳(84)非出水管道接头(81)的一侧,所述入水转接器外壳(84)固定于装置外壳(10)上。
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