[实用新型]一种半导体检测装置有效
申请号: | 201821569146.8 | 申请日: | 2018-09-26 |
公开(公告)号: | CN208888337U | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 陈华 | 申请(专利权)人: | 深圳力迈电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518103 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 气缸 半导体检测装置 电气检测装置 丝杆传动结构 本实用新型 外观检测仪 传送带 第二丝杆 第一丝杆 驱动丝杆 伸缩探针 竖直支架 工作台 滑块 转动 电机 吸盘 摄像头 产品性能 气缸连接 气缸驱动 成品率 废料盘 升降 | ||
1.一种半导体检测装置,包括工作台、设于工作台前端并顺序排列的第一传送带和第二传送带,其特征在于,所述工作台上设有废料盘、电气检测装置、外观检测仪,其中:电气检测装置具有夹具、伸缩探针、第一气缸,夹具设于工作台上,第一气缸设于夹具的一侧,伸缩探针与第一气缸连接;外观检测仪包括第一丝杆、驱动丝杆转动的第一电机,第一丝杆上设有与之构成丝杆传动结构的竖直支架;竖直支架内设有第二丝杆,以及驱动第二丝杆转动的第二电机,第二丝杆上设有与之构成丝杆传动结构的滑块;滑块底部设有第二气缸,以及由第二气缸驱动升降的吸盘和摄像头。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置,其特征在于,所述吸盘是以塑料橡胶制作而成。
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