[实用新型]质谱分析器及其光学系统

权利要求书

1.一种质谱分析器的光学系统，其特征在于，包括激光单元、照明单元、成像单元以及光学反射机构；所述激光单元、所述照明单元以及所述成像单元设于所述质谱分析器的离子源腔体的外部，所述光学反射机构设于所述离子源腔体的内部；

所述激光单元发出的激光经所述光学反射机构反射后射到样品表面且反射的激光光线与垂直于样品靶板的轴线的夹角大于0°且不大于10°；所述照明单元发出的照明光经所述光学反射机构反射后照射到样品表面且经所述光学反射机构反射后的照明光光线与垂直于样品靶板的轴线的夹角大于0°且不大于10°；所述样品反射的照明光经由所述光学反射机构反射后射入所述成像单元，所述成像单元用于接收由所述样品反射的照明光以用于样品成像。

2.如权利要求1所述的质谱分析器的光学系统，其特征在于，所述激光单元、所述照明单元以及所述成像单元围绕所述质谱分析器的离子源腔体的设置。

3.如权利要求2所述的质谱分析器的光学系统，其特征在于，所述照明单元的光源与所述成像单元的光学镜头相对设置。

4.如权利要求3所述的质谱分析器的光学系统，其特征在于，所述激光单元发出的激光的入射方向垂直于经所述光学反射机构反射后的照明光光线与由所述样品反射的照明光光线所确定的平面。

5.如权利要求1～4中任一项所述的质谱分析器的光学系统，其特征在于，所述光学反射机构具有三个反射面，分别用于将入射的所述激光反射至所述样品、将所述照明单元发出的照明光反射至所述样品以及将所述样品反射的照明光反射至所述成像单元。

6.如权利要求1～4中任一项所述的质谱分析器的光学系统，其特征在于，所述成像单元包括光学镜头和拍摄装置，由所述光学反射机构反射出的照明光经由所述光学镜头捕获后摄入所述拍摄装置。

7.一种质谱分析器，其特征在于，包括离子源组件以及如权利要求1～6中任一项所述的光学系统；所述离子源组件包括离子源腔体、样品靶板以及极片组件，所述样品靶板及所述极片组件设于所述离子源腔体内且位于所述光学反射机构的下方。

8.如权利要求7所述的质谱分析器，其特征在于，所述离子源腔体的上部为八面柱体结构，所述照明单元与所述成像单元分别对应于所述离子源腔体的八面柱体结构部分的两个相对的侧壁，所述激光单元对应于所述离子源腔体的八面柱体结构部分的另一侧壁且该侧壁与所述照明单元对应的侧壁之间间隔有一侧壁。

9.如权利要求8所述的质谱分析器，其特征在于，所述光学反射机构位于所述离子源腔体的中部，经所述光学反射机构反射后的照明光光线与由所述样品反射的照明光光线以所述离子源腔体的中轴线对称。