[实用新型]一种真空离子镀膜机

说明书

本实用新型涉及不锈钢镀膜技术领域，公开了一种真空离子镀膜机，包括机体、设置在机体上方的盖子，所述机体端面设置有橡胶圈，所述盖子周向设置有多个固定块，所述机体周向绕机体轴线的转动设置有转动圈，所述转动圈上设置有呈L形且用于压紧固定块的压紧片。转动圈转动，带动压紧片转动，从而使压紧片压在固定块上方，从而使盖子固定，盖子与橡胶圈抵紧，提升了机体的密封性。

技术领域

本实用新型涉及不锈钢镀膜技术领域，具体涉及一种真空离子镀膜机。

背景技术

不锈钢指耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质和酸、碱、盐等化学浸蚀性介质腐蚀的钢，又称不锈耐酸钢。实际应用中，常将耐弱腐蚀介质腐蚀的钢称为不锈钢，而将耐化学介质腐蚀的钢称为耐酸钢。由于两者在化学成分上的差异，前者不一定耐化学介质腐蚀，而后者则一般均具有不锈性。不锈钢的耐蚀性取决于钢中所含的合金元素。

如公告号为CN107805786A的专利，该专利公开了一种多弧离子真空镀膜机，包括腔室、抽真空系统和多弧靶组件，腔室内设有旋转架组件，旋转架组件上安装有工作台，旋转架组件用于带动工作台在腔室内转动，工作台用于安装工件；抽真空系统与腔室连接；多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个阴极多弧靶座上设有永磁铁，每个阴极多弧靶座的内端通过直管磁场叠加装置与腔室密封连接，且阴极多弧靶座的内端连接有套设于直管磁场叠加装置内的靶材座，靶材座用于安装靶材，每个阴极多弧靶座上均设有引弧装置，引弧装置的引弧针能够接触靶材，直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。

现有的真空离子镀膜机上料过程，采用将腔室上方的盖子使用提升机提起，通过将不锈钢板挂在盖子下方的旋转架组件上，将盖子复位，盖子在重力作用下使腔室封闭。但是这样仅依靠重力使腔室封闭，腔室密封性差。

实用新型内容

针对现有技术存在的腔室内密封性差的问题，本实用新型的目的在于提供一种真空离子镀膜机，具有提升腔室内密封性的效果。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种真空离子镀膜机，包括机体、设置在机体上方的盖子，所述机体端面设置有橡胶圈，所述盖子周向设置有多个固定块，所述机体周向绕机体轴线的转动设置有转动圈，所述转动圈上设置有呈L形且用于压紧固定块的压紧片。

通过采用上述技术方案，转动圈转动，带动压紧片转动，从而使压紧片压在固定块上方，从而使盖子固定，盖子与橡胶圈抵紧，提升了机体的密封性。

本实用新型的进一步设置为：所述机体周向固定设置有用于与固定块抵接并对盖子周向进行限位的限位片。

通过采用上述技术方案，限位片对固定块进行限位，在压紧片压紧固定块的过程中，限位片与固定块抵接，便于压紧片压紧固定块。

本实用新型的进一步设置为：所述限位片距盖子近的一侧呈斜面设置。

通过采用上述技术方案，限位片与盖子接触的一端对盖子形成导向效果，便于盖子复位。

本实用新型的进一步设置为：所述压紧片距固定块近的一端的下表面呈斜面设置。

通过采用上述技术方案，压紧片呈斜面的部分对压紧片形成导向，方便压紧片压紧固定块。

本实用新型的进一步设置为：所述机体上设置有驱动转动圈转动的驱动电机。

通过采用上述技术方案，电机驱动转动圈转动，从而使压紧片压紧固定块，盖子固定方便。

本实用新型的进一步设置为：所述驱动电机设置为伺服电机。

通过采用上述技术方案，伺服电机控制方便。