[实用新型]一种旋转靶材的厚度检测装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转靶材的厚度检测装置，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括支撑腿、支撑板、基座、移动底座、第一夹块、气缸、第二夹块、支架、激光发射器、透镜、信号处理机构、防滑凸起、激光接收器、光电转换器，所述支撑板上设有两个所述基座，每个所述基座上设有滑行轨道，所述基座上方设有所述移动底座，所述移动底座底部设有与所述滑行轨道相匹配的滑块，其中一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述气缸，所述气缸通过活塞杆与所述第二夹块一端相连，其中另一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述第一夹块，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置。方便快速，提高靶材厚度检测精度和准确度，适用性强。

技术领域

本实用新型涉及于靶材制造技术领域，特别涉及于一种旋转靶材的厚度检测装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

当旋转靶材消耗到一定程度时，需对靶材的剩余厚度进行测量，以评估靶材的剩余寿命。现有的靶材的厚度检测装置没有配套的夹具，靶材在检测的过程中容易发生打滑，严重影响检测的准确性及效率。

实用新型的内容

（1）要解决的技术问题

本实用新型提供一种旋转靶材的厚度检测装置，克服了现有的靶材的厚度检测装置没有配套的夹具，靶材在检测的过程中容易发生打滑，严重影响检测的准确性及效率的缺点。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种旋转靶材的厚度检测装置，包括支撑腿、支撑板、基座、移动底座、第一夹块、气缸、第二夹块、支架、激光发射器、透镜、信号处理机构、防滑凸起、激光接收器、光电转换器，所述支撑腿上固定设有支撑板，所述支撑板上平行设有两个所述基座，两个所述基座之间设有所述激光接收器，每个所述基座上至少设有两个滑行轨道，所述基座上方设有所述移动底座，所述移动底座底部设有与所述滑行轨道相匹配的滑块，其中一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述气缸，所述气缸通过活塞杆与所述第二夹块一端相连，所述第二夹块另一端面中部开设有第二凹槽，其中另一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述第一夹块，所述第一夹块一端面中部开设有第一凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，所述第一凹槽内壁设有第一防滑件，所述第二凹槽内壁设有第二防滑件，所述支撑板上还设有所述支架，所述支架上方设有所述信号处理机构和所述光电转换器，所述支架上固定有所述激光发射器，所述激光发射器下方设有所述透镜，所述透镜通过固定杆固定在所述支架一侧。

优选地，所述第一防滑件、所述第二防滑件上均匀设有防滑凸起。

优选地，所述激光接收器与所述光电转换器电性相连，所述光电转换器与所述信号处理机构电性连接。

优选地，所述滑行轨道的数量与所述滑块的数量相同，且至少为三个。

优选地，所述第一凹槽、所述第二凹槽为弧形凹槽。

（3）有益效果

本实用新型提供一种旋转靶材的厚度检测装置，克服了现有的靶材的厚度检测装置没有配套的夹具，靶材在检测的过程中容易发生打滑，严重影响检测的准确性及效率的缺点。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、弧形凹槽的设计可以与靶材的形状更加贴合，弧形凹槽内的防滑件上均匀设有防滑凸起，增大摩擦力，可以较好地防止靶材检测过程的打滑和晃动，提高靶材厚度检测的准确性和效率。

2、移动底座和基座的设置可以方便根据靶材的长度进行移动，可以适应不同长度的靶材，提高了实用性。

附图说明