[实用新型]冷却装置及镀膜设备

说明书

本实用新型提供了一种冷却装置及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，本实用新型提供的冷却装置，包括换热体，换热体围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔，以及分别与封闭冷却腔连通的进液口和出液口，本实用新型提供的冷却装置解决了现有技术中螺旋冷却管之间存在空隙，冷却效果不佳的技术问题，增大了冷却液的容量和冷却液的循环量，提高了冷却效率和冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种冷却装置及镀膜设备。

背景技术

蒸发源是指真空镀膜行业中使用蒸发的方法进行镀膜的工艺中的核心设备，在生产中蒸发源所产生的热量需要通过冷却装置进行隔离处理。冷却装置是指避免蒸发源内的高温传导散失在外界的机构，可以有效保护环境温度。现有技术中通常使用旋绕的办法将冷却管做成螺旋的冷却套，通过冷却套套设蒸发源达到冷却的效果。由于冷却管旋绕而成，因此，冷却管之间的空隙处冷却效果不佳，并且进、出接口分别位于螺旋冷却套的两端，不利于蒸发源及其他部件布置。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种冷却装置及镀膜设备，以解决现有技术中螺旋冷却管冷却效果不佳的技术问题。

第一方面，本实用新型提供的冷却装置，包括换热体，换热体围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔，以及分别与封闭冷却腔连通的进液口和出液口。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，换热体包括内壁以及套设于内壁外部的外壁，内壁和外壁之间形成封闭冷却腔。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，换热体包括底端板和顶端板；底端板盖设于封闭冷却腔的底端；顶端板盖设于封闭冷却腔的顶端。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，进液口设置于封闭冷却腔的底端，出液口设置于封闭冷却腔的顶端。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，进液口和出液口均设于封闭冷却腔的同一端。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，封闭冷却腔内设置有高位出液管，高位出液管的进液端靠近顶端板并与顶端板之间具有间隙，高位出液管的出液端与出液口连通。

结合第一方面的第五种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，高位出液管的进液端设有防湍流结构。

结合第一方面的第六种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，防湍流结构为斜面，斜面与高位出液管的轴线夹角小于90度。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，冷却装置包括出液管和进液管，出液管与出液口连通，进液管与进液口连通。

第二方面，本实用新型提供的镀膜设备，包括第一方面提供的冷却装置。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：采用换热体围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔，以及分别与封闭冷却腔连通的进液口和出液口的方式，通过封闭冷却腔存储冷却液，冷却液由进液口流入封闭冷却腔，并经出液口流出，从而吸收并带走位于容纳空间内的热源的热量。由于本实施例提供的冷却装置具有周向封闭的封闭冷却腔，因此不存在现有的螺旋冷却管的相邻的螺旋之间存在的空隙问题，因此冷却效果更佳。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明