[实用新型]高温插板阀及连续真空镀膜装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种高温插板阀及连续真空镀膜装置。所述高温插板阀包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道，阀体上设有第一通孔和第二通孔，通过支撑板与密封板对第一通孔和第二通孔进行密封封堵，实现高温插板阀的密封；支撑板和密封板上设有阀板冷却水道，通过向阀板冷却水道内通入循环冷却水对支撑板与密封板进行降温，同时也是对阀体进行降温，从而使插板阀在对两个高温腔体进行密封时，仍能保证插板阀温度在适宜使用的范围内，具有良好的密封性能，实现对高温真空腔体的密封。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种高温插板阀及连续真空镀膜装置。

背景技术

现有的连续真空镀膜装置中多个真空腔室连续设置，通过阀门对多个真空腔室进行真空隔离，并且在运行过程中，真空腔室处于高温状态，位于两个真空腔室之间的阀门无法在高温条件下保证密封性能，导致连续真空镀膜装置无法被密闭。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高温插板阀及连续真空镀膜装置，以解决现有技术中插板阀无法在高温条件下使用，真空腔体在高温下无法密闭的技术问题。

本实用新型提供了一种高温插板阀，包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道；所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接；所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道设置于所述支撑板上，所述密封板冷却水道设置于所述密封板上。

进一步地，还包括水道总管，所述水道总管包括供水管道和出水管道，所述出水管道套设在所述供水管道外；所述供水管道通过第一分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的入口端相连通；所述出水管道通过第二分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的出口端相连通。

进一步地，包括内冷却水道，所述内冷却水道设置于所述阀体内，并环绕设置于所述第一通孔与所述第二通孔；所述内冷却水道的入水口和出水口位于所述阀体底部，用于通入和排出所述内冷却水道内的循环水。

进一步地，所述阀体内设有加强筋，所述加强筋的数量为多个，多个所述加强筋与所述阀体连接；所述加强筋上设有通孔，所述阀体内冷却水道穿过所述通孔。

进一步地，包括波纹膨胀管和气体通道；所述气体通道位于所述支撑板内，且所述支撑板上设有气体通道出口，所述波纹膨胀管的一端与所述气体通道出口相连通，所述波纹膨胀管的另一端与所述密封板相连接；所述气体通道出口和所述波纹膨胀管的数量均为多个并一一对应，多个所述波纹膨胀管均匀分布在所述支撑板与所述密封板之间。

进一步地，所述伞形连接件的数量为多个；多个所述伞形连接件均匀分布于所述支撑板与所述密封板之间。

进一步地，所述伞形连接件包括第一连接件、第二连接件和定位轴；

所述第一连接件和所述第二连接件的一端均套设在所述定位轴上，并与所述定位轴转动连接，所述第一连接件的另一端与所述支撑板转动连接，所述第二连接件的另一端与所述密封板转动连接。

进一步地，包括固定支架，多个所述伞形连接件通过所述定位轴与所述固定支架相连接。

进一步地，包括弹性件，所述弹性件的一端与所述支撑板相连接，所述弹性件的另一端与所述密封板相连接，用于拉动所述密封板向所述支撑板方向移动；所述弹性件的数量为多个；多个所述弹性件均匀分布与所述支撑板与所述密封板之间。

本实用新型还提供了一种连续真空镀膜装置，包括上述任一项所述的高温插板阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：