[实用新型]一种单晶硅棒晶向检测装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：包括中转台、安装在中转台上并且在中转台上上下滑动的移动端夹头、位于移动端夹头的相对位置处并安装在中转台上的固定端夹头；所述中转台上还安装有一对用于测量晶棒棱线的晶棒棱测量组件，这一对晶棒棱测量组件用于在晶棒棱线检测时分别贴紧晶棒两端的侧面；所述固定端夹头通过旋转机构带动做360°旋转，从而带动固定端夹头上的晶棒的旋转。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：所述的一对晶棒棱测量组件各与一个滑台式气缸连接，其用于在测量晶棒棱线时在滑台式气缸的推动下贴紧待测晶棒的侧面。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：其中一个晶棒棱测量组件和滑台式气缸安装在移动端夹头上，随着移动端夹头的上下运动而运动。

4.根据权利要求1-3任一一项所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：所述的晶棒棱测量组件包括安装板、固定安装在安装板上的磁尺、安装在安装板上并相对于安装板以磁尺为滑轨前后运动的磁敏式位移传感器、与磁敏式位移传感器连接并用于贴紧晶棒侧面的滑动杆。

5.根据权利要求1-3任一一项所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：所述的移动端夹头和固定端夹头分别通过各自设有的万向夹头机构夹紧晶棒；所述的万向夹头机构包括球面定块，通过紧定螺钉设置在球面定块上并且与球面定块的接触表面为球面的球面动块，所述球面动块上设有顶紧弹簧，所述球面动块和球面定块外套有万向夹头波纹管；所述球面动块可在球面定块上360°范围内小幅度自由滑动以补偿晶棒截面的平面度，从而保证晶棒的竖直装夹，紧定螺钉与顶紧弹簧共同作用，保证万向夹头机构能自动复位。

6.根据权利要求1-3任一一项所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：所述旋转机构包括安装在中转台上的同步带轮机构和与同步带轮机构连接的旋转电机，所述固定端夹头的伸出轴与同步带轮机构连接。

7.根据权利要求1-3任一一项所述的一种单晶硅棒晶向检测装置，其特征在于：所述中转台上还安装有棱线指示标，所述棱线指示标位于固定端夹头的一侧。