[实用新型]蒸发台有效
申请号: | 201821548037.8 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN208791735U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 陈国松;梁瑶 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14 |
代理公司: | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人: | 周全;葛军 |
地址: | 225008 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发台 安置槽 工作台 液压油缸 固定盘 摆动组件 容置槽 转台 半导体加工设备 加热器 本实用新型 加工效率 连接圆片 推杆连接 锥形孔 盖板 底面 顶面 电机 加工 | ||
1.蒸发台,其特征在于,包括工作台、蒸发台体、转台和摆动组件,所述蒸发台体设在工作台的上方,所述工作台的顶面设有容置槽,所述容置槽用于放置转台,所述工作台的底面设有安置槽一和安置槽二,所述安置槽一用于放置电机,所述安置槽二用于放置加热器;
所述安置槽一和容置槽之间设有贯通的穿孔,所述电机的转轴位于穿孔内、用于驱动转台旋转动作,所述转台的顶面在圆周上均布设有四个加热槽,
所述安置槽二和容置槽相连通,所述安置槽二位于任一加热槽的下方;
所述蒸发台体上设有上大下小的锥形孔,所述锥形孔的顶部设有盖板,所述锥形孔用于与任一加热槽连通;
所述摆动组件包括液压油缸和固定盘,所述液压油缸设在盖板上,所述液压油缸的推杆连接固定盘,所述固定盘位于锥形孔内、用于连接圆片。
2.根据权利要求1所述的蒸发台,其特征在于,所述转台的底面中心设有转孔,所述电机的转轴伸入转孔内。
3.根据权利要求1所述的蒸发台,其特征在于,所述圆片粘结连接在固定盘上。
4.根据权利要求1所述的蒸发台,其特征在于,所述固定盘上设有气路,所述气路连接负压风机,所述圆片吸附连接在固定盘上。
5.根据权利要求1所述的蒸发台,其特征在于,所述加热槽的槽口口径小于锥形孔的下部口径。
6.根据权利要求1所述的蒸发台,其特征在于,还包括防护套,所述防护套呈锥形,所述防护套设在锥形孔内。
7.根据权利要求6所述的蒸发台,其特征在于,所述防护套的两端分别通过拉绳连接液压油缸的推杆。
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