[实用新型]涂胶显影机台有效
| 申请号： | 201821542299.3 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208903073U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张党柱;赖政聪;古哲安;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂胶显影机台 本实用新型 光刻胶涂布 检测装置 晶圆 光刻胶喷涂 晶圆承载台 设备产出率 涂胶显影机 补救措施 光刻胶层 晶圆正面 设备检修 在线检测 不良率 返工 良率 生产成本 工作量 发现 检测 生产 | ||
1.一种涂胶显影机台，其特征在于，包括：
承载晶圆的晶圆承载台；
检测所述晶圆正面的光刻胶层的检测装置，位于所述晶圆的上方；
所述检测装置包括用于抓取涂布所述光刻胶层后的所述晶圆正面图像的CCD相机或CMOS相机，所述涂胶显影机台还包括对所述检测装置的检测结果进行分析的分析装置，所述分析装置与所述检测装置相连接；或，
所述检测装置包括多个测量所述光刻胶层厚度的厚度传感器。
2.根据权利要求1所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述检测装置位于所述晶圆的正上方。
3.根据权利要求1所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括报警装置，所述报警装置与所述分析装置相连接。
4.根据权利要求1所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括将多个所述厚度传感器的检测结果进行比对的比较器，所述比较器与多个所述厚度传感器相连接。
5.根据权利要求4所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括报警装置，所述报警装置与所述比较器相连接。
6.根据权利要求1所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括固定所述检测装置的支架，所述检测装置位于所述支架上。
7.根据权利要求6所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括驱动所述支架移动的驱动装置，与所述支架相连接。
8.根据权利要求1所述的涂胶显影机台，其特征在于：所述涂胶显影机台还包括对所述晶圆背面进行检测的背面检测装置，位于所述晶圆承载台上。
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