[实用新型]一种管材的气密性检测工装

说明书

本实用新型提供一种管材的气密性检测工装，包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。通过电机驱动待检测管材进行转动，可以保持漏气检测装置静置不动完成气密性测试，从而减小测试数据的误差，提高了对待检测管材气密性检测的准确性。

技术领域

本实用新型涉及气密性检测领域，尤其涉及一种管材的气密性检测工装。

背景技术

众所周知，溅射镀膜设备中，常用靶材包括平面型靶材和圆柱形靶材。圆柱型靶材为圆柱型背衬管表面附着镀膜材料，圆柱型背衬管为圆柱靶材的支持部件。圆柱型背衬管两端分别焊接法兰，法兰用于靶材和溅射设备的连接。圆柱型靶材在使用过程中，圆柱型背衬管的内部通冷却循环水，用于制冷。因此，圆柱型背衬管的气密性是圆柱型背衬管的重要技术指标。

然而，现有技术中，对于类似圆柱型靶材背衬管的管材的气密性的测试操作中，气体探头垂直于测试部位时，测试效果才最为良好且最准确。但在现有技术中，测试时通常需要手动控制气体探头绕管材的周向转动，以检测管材的气密性，由于人为操作的局限性，容易导致气体探头移动速度有较大变化，增加了测试数据的误差，致使测试数据的准确性受到较大影响。因此现有技术中存在对管材气密性检测的准确性较低的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种管材的气密性检测工装，以解决对管材气密性检测的准确性较低的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

本实用新型实施例提供了一种管材的气密性检测工装，包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。

可选的，所述基座还包括连接本体，所述连接本体连接在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间。

可选的，所述驱动装置为电机。

可选的，所述电机的转轴与所述第二容置槽内的一个所述滚动件固定连接，或者所述电机的转轴通过齿轮与所述第二容置槽内的所述滚动件啮合连接。

可选的，所述滚动件为滚轮、滚珠或滚筒；所述第一容置槽内设置有至少两个所述滚动件，所述第二容置槽内设有至少两个所述滚动件。

可选的，所述第一容置槽和第二容置槽均为U型槽。

可选的，所述漏气检测装置包括支架和气体探头，所述支架包括底座、连接杆和固定件，所述连接杆的一端与所述底座连接，另一端与所述固定件固定连接，所述固定件用于固定所述气体探头，所述气体探头垂直于所述待检测管材的外圆周面设置。

可选的，所述固定件为与所述气体探头适配的夹具。

可选的，所述连接杆包括第一连接杆、第二连接杆和紧固件，所述第一连接杆的一端与所述底座固定连接，另一端设有第一通孔，所述第二连接杆的一端与所述固定件固定连接，另一端设有第二通孔，所述紧固件穿过所述第一通孔和所述第二通孔将所述第一连接杆和所述第二连接杆固定。

可选的，所述底座和基座均设于测试平台，所述测试平台上设有磁性物质，所述底座内设有与所述磁性物质吸合固定的开关式磁铁或者电磁铁。