[实用新型]一种具有传动辊在线监测功能的真空设备

说明书

本实用新型公开了一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，包括：真空腔体；安装于真空腔体内的传动辊单元，传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；传动连接传动辊单元输入端的驱动装置；监测装置，监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径；对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件，被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。本实用新型能够实现在线直接监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，同时不降低传动辊的力学性能，及时给出具体传动辊单元失效的报警信号，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大损失。

技术领域

本实用新型属于真空设备技术领域，具体涉及一种具有传动辊在线监测功能的真空设备。

背景技术

真空设备被广泛应用于现代化工业生产，例如利用物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、气相运输沉积技术和等离子体表面处理技术等工业生产领域。在实际应用中，大多数真空设备和其他设备构成自动化或半自动化生产线，因此真空设备传动链失效的在线监测对于生产线的正常运行具有重要意义。传动辊传动链是真空设备主要的传动方式之一，其运行状态在线监测尤为重要。

真空设备目前主要通过以下一种或多种方式监测传动链：1.监测传动链动力输入装置(例如电动机等)的工作状态；2.监测传动件(例如同步轮、同步带等)的工作状态；3.监测传动辊输入端连接件(例如磁流体、联轴器等)的工作状态；4.监测真空设备所加工的工件的位置。以上方法是通过监测传动链中某个零部件的工作状态或者通过监测真空设备所加工工件的位置判断传动链工作状态，不能直接反映传动辊的工作状态，可靠性偏低。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其能够直接在线监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，及时给出具体的某一传动辊单元失效报警，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大的损失。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其包括：

真空腔体；

转动安装于真空腔体内的传动辊单元，所述传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；

传动连接传动辊单元的输入端的驱动装置，用于驱动传动辊转动；

监测装置，所述监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径；

对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件，所述被监测零件可随传动辊同步转动，并在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。

进一步的，所述监测单元包括视窗、压紧件和光学传感器，所述视窗通过压紧件固定于真空腔体上，所述光学传感器对应视窗安装于真空腔体的外侧，并且所述真空腔体对应视窗开设有外形尺寸小于视窗的镂空口，两侧的监测单元通过光学传感器于真空腔体内形成光路。

进一步的，所述视窗设置于真空腔体的外侧，且视窗与真空腔体的侧壁之间设置有密封圈。

进一步的，该光学传感器位置可调节。

进一步的，所述被监测零件偏离传动辊的轴心并安装于传动辊相对于输入端的另一端，所述被监测零件可随传动辊的转动做圆周运动，且被监测零件的圆周路径与检测路径相交而实现被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。

进一步的，所述被监测零件同轴设置于传动辊相对于输入端的另一端，且被监测零件上开设有贯穿两侧的通孔，两侧的监测单元之间的检测路径在被监测零件随传动辊转动一圈的过程中可通过通孔连通至少一次。

进一步的，所述被监测零件上开设有多个均匀排布的通孔，多个所述的通孔的轴心均沿传动辊的径向并穿过传动辊的轴心。