[实用新型]一种振镜电机、激光振镜以及激光处理设备

说明书

本公开是关于一种振镜电机、激光振镜以及激光处理设备。该振镜电机包括伺服电机和折射镜片；其中：所述折射镜片包括入射面和出射面，在该入射面接收一入射光束并经过一次折射形成折射光束，该折射光束在该出射面经二次折射后形成出射光束照射在工作面预定位置；其中该入射光束具有预设的入射角；所述电机的输出轴连接所述折射镜片，用以带动所述折射镜片偏转而改变所述入射角来调整所述出射光束在工作面上的位移以形成预设图形。本公开提高了振镜电机的精度，降低了干扰因素。

技术领域

本公开涉及激光处理设备技术领域，尤其涉及一种激光振镜用的振镜电机、包含该振镜电机的激光振镜以及包含该振镜电机的激光处理设备。

背景技术

激光振镜是一种由驱动板与高速摆动电机组成的高精度、高速度的光学扫描器，广泛应用于激光打标、激光焊接、激光精密切割、激光微加工、激光内雕、激光打孔、材料的加工、剪切以及生物医疗的检测和投影等领域。激光振镜在工作过程中，激光器输出激光束射到其振镜电机上，通过振镜电机上的反射镜片的偏转来实现一定范围内指定位置的加工成型。一台振镜电机的精度和速度很大程度上决定了整个仪器的精度和速度。

现有技术中，应用于激光振镜的振镜电机，都是控制振镜电机上的反射镜片来实现光束的偏转，当振镜电机上的反射镜片偏转一个角a时，照射到反光镜片上的激光反射光束的偏转角为2a。但在实际操作中，无论如何，设备运转带来的误差是不可避免的，由此当振镜电机出现误差导致其上的反射镜片偏转角误差为ω时，激光反射光束偏转角误差为2ω。这就导致了激光振镜的精度只能达到目前的水平，很难实现进一步的提高。因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的一个或者多个问题。

实用新型内容

本公开的目的在于提供一种振镜电机、激光振镜以及激光处理设备，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本公开实施例提供一种振镜电机，其特征在于，该装置包括伺服电机和折射镜片；其中：所述折射镜片包括入射面和出射面，在该入射面接收一入射光束并经过一次折射形成折射光束，该折射光束在该出射面经二次折射后形成出射光束照射在工作面预定位置；其中该入射光束具有预设的入射角；所述电机的输出轴连接所述折射镜片，用以带动所述折射镜片偏转而改变所述入射角来调整所述出射光束在工作面上的位移以形成预设图形。

本公开的实施例中，所述折射镜片具有预设的镜片厚度，该镜片厚度与所述出射光束在工作面上的位移量相关。

本公开的实施例中，所述折射镜片具有预设的折射率，且该折射率与所述折射镜片的材质相关。

本公开的实施例中，所述折射镜片采用透明材料制成。

本公开的实施例中，所述透明材料包括玻璃、树脂或水晶。

本公开的实施例中，所述折射镜片的入射面和出射面中至少一个镀有增透膜。

本公开的实施例中，所述折射镜片通过支架与所述电机的输出轴连接。

本公开的实施例中，所述折射镜片固定在所述支架上，该支架通过紧固件连接在所述电机的输出轴上。

本公开实施例提供了一种激光振镜，包括至少一个如上述任一项实施例所述的振镜电机。

本公开实施例还提供了一种激光处理设备，包括至少一个如上述任一项所述振镜电机。

本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：