[实用新型]一种用于多穴电阻蒸发装置

说明书

本实用新型公开了一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱、安装柱、阻蒸坩埚、坩埚托盘、托盘转轴、腔体、步进电机，所述坩埚托盘通过托盘转轴安装在磁流体上，所述安装柱安装在腔体上，所述托盘转轴由步进电机带动，所述坩埚托盘上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚，所述阻蒸坩埚底部对应位置安装有一个圆形的加热盘；所述安装柱下端通过有联轴环固定在绝缘套内，再通过锁紧螺母固定，本实用新型阻蒸钳埚与加热盘就完全分离设计，只需要转动托盘转轴，即可以对钳埚托盘上的每一个阻蒸钳埚进行加热，而且设计简单，加热效果好，维护也非常方便。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜生产线技术领域，具体为一种用于多穴电阻蒸发装置。

背景技术

装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜在日常消费领域，如家电、手机、智能家居和车载显示的广泛应用，尤其是真空镀膜推动了装饰镀膜、光电功能膜和光学彩色膜广泛的在这些领域使用了。目前，市面上的一些真空镀膜设备在蒸发装置大多采用电子束加热蒸发装置或电阻加热式蒸发装置，因为电阻加热式蒸发装置是利用电阻丝通电后产生的热量加热坩埚中的蒸发物料使其汽化，电阻加热式蒸发装置不仅具有结构简单、蒸发效率高、温度稳定和加热均匀等优点，已大量用于工业和实验室中。但是市面上的大多电阻加热式蒸发装置大多在加热过程中，对每一个坩埚加热比较复杂，而且效率也不高，容易出现烧坏坩埚情况，维改相对也不是很方便。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于多穴电阻蒸发装置，它能有效的解决背景技术中存在的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述的坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述的安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，所述坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述的阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装有一个圆形的加热盘(6)；所述的安装柱(5)下端通过有联轴环(4)固定在绝缘套(3)内，再通过锁紧螺母(2)固定。

进一步，所述的阻蒸接线柱(1)安装在安装柱(5)顶端，且由两根相同的安装柱(5)将加热盘(6)支撑固定，同时，加热盘内均匀设有加热电阻丝。

进一步，所述托盘转轴(9)上安装有磁流体(10)。

本实用新型的有益效果是：本实用新型阻蒸钳埚与加热盘就完全分离设计，只需要转动托盘转轴，即可以对钳埚托盘上的每一个阻蒸钳埚进行加热，而且设计简单，加热效果好，维护也非常方便。

附图说明

图1为本实用新型的侧视图；

图2为本实用新型的正视图；

图3为本实用新型的主视图；

图4为本实用新型的俯视图；

附图标记中：1-阻蒸接线柱、2-锁紧螺母、3-绝缘套、4-联轴环、5-安装柱、6-加热盘、7-阻蒸钳埚、8-钳埚托盘、9-托盘转轴、10-磁流体、11-腔体、12-步进电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。