[实用新型]一种拉晶炉富氩尾气除油系统

说明书

本实用新型涉及一种拉晶炉富氩尾气除油系统，包括沿尾气进气方向依次设置的至少一台与富氩尾气管道连接的真空泵、与真空泵连接的丝网过滤器、至少一台与丝网过滤器连接的风机、与风机连接的冷却器、至少一台与冷却器连接的滤芯过滤器、与滤芯过滤器连接的静电除油装置、至少一台与静电除油装置连接的脱油吸附筒以及与脱油吸附筒连接的气柜；本实用新型使用多种组合方式，逐级将富氩尾气中油去除，达到后续低温净化的要求，同时减少了风机数量，只使用了三台风机，减少了动设备，从而减少了故障率。

技术领域

本实用新型涉及油气分离技术领域，尤其涉及一种拉晶炉富氩尾气除油系统。

背景技术

单晶硅的太阳能企业，在生产过程中，需要将大量高纯氩气充入多晶硅生产炉或单晶硅生产炉，作为保护气体，防止空气进入。含氩气的尾气被真空泵抽出排入大气，造成了浪费。单晶硅生产过程中排出的富氩气尾气中氩气的含量高达98％，具有很高的提取价值。同时排放的富氩尾气中含有CO、CH₄、烃类、油、灰尘等对空气造成污染、对人体有伤害的物质。

同时富氩尾气中含有油和灰尘，油尘难于去除，容易增加系统阻力甚至阻塞管道。油污的存在会大大降低除尘设备的效率甚至失效，而灰尘的存在又会降低除油设备效率甚至堵塞除油设备，油和灰尘同时高效去除技术是当前面临的技术难题。

目前国内文献关于富氩尾气回收处理研究很少，实际将富氩尾气回收并提纯高纯氩的项目还没有，国内文献集中在理论上利用低温方式把富氩尾气中杂质去除得到高纯氩，或简单一笔带过说需要把油尘去除，并没有考虑其中的技术难度。经过实际调试发现，富氩尾气中含油量非常大。

申请号为CN201721189615.9的实用新型专利中使用简单的H型管加除油吸附桶模式无法将油净化到工艺要求的效果。

拉晶厂家一般都有成百上千台拉晶炉，这些拉晶炉分布在多个车间，要将这些尾气除油后回收，申请号为CN201721189615.9的实用新型专利中是采用在每个车间安装风机，将该车间的尾气通过管道送入风机，每个车间的风机再汇合集中到总管中，这种方案的缺点在于风机数量太多，风机属于用电的动设备，一旦一台风机故障，其它风机的气体就会经过故障风机倒流，从而使得气体无法回收。

基于此，针对现有技术中的不足，需要一种能够将富氩尾气中的油处理干净、同时减少风机数量降低风险的拉晶炉富氩尾气除油系统被设计出来。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，得到一种能够将富氩尾气中的油处理干净、同时减少风机数量降低风险的拉晶炉富氩尾气除油系统。

本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种拉晶炉富氩尾气除油系统，包括沿尾气进气方向依次设置的至少一台与富氩尾气管道连接的真空泵、与真空泵连接的丝网过滤器、至少一台与丝网过滤器连接的风机、与风机连接的冷却器、至少一台与冷却器连接的滤芯过滤器、与滤芯过滤器连接的静电除油装置、至少一台与静电除油装置连接的脱油吸附筒以及与脱油吸附筒连接的气柜；其中，

真空泵与丝网过滤器组成系统内的预处理除油部分，风机与冷却器组成系统内的再处理除油部分，滤芯过滤器组成系统内过滤除油部分，静电除油装置组成系统内的静电除油部分，脱油吸附筒组成系统内的脱油吸附部分。

进一步地，所述丝网过滤器内设置有若干个钢丝球，所述丝网过滤器底部设置有排油管道。