[实用新型]一种电极体密封结构有效
| 申请号: | 201821510637.5 | 申请日: | 2018-09-14 |
| 公开(公告)号: | CN208791202U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
| 发明(设计)人: | 余涛;刘晓彬;周维维 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王学强;罗满 |
| 地址: | 614800 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电极体 炉体底盘 内绝缘环 外绝缘 密封结构 上密封垫 下密封垫 绝热环 上表面 凸缘部 环设 本实用新型 部下表面 电极结构 降低生产 密封效果 配合间隙 接地 密封性 外凸起 外缘面 下表面 凸缘 停车 穿过 | ||
1.一种电极体密封结构,其特征在于,包括:穿过炉体底盘的电极体,上密封垫,下密封垫,套设于所述电极体外的内绝缘环和外绝缘环;所述电极体头部的外缘面有部分向外凸起形成的凸缘部;所述内绝缘环和所述外绝缘环设于所述凸缘部之下,所述外绝缘环设于所述炉体底盘之上;所述内绝缘环上部设于所述电极体与所述外绝缘环之间,所述内绝缘环下部设于所述电极体与所述炉体底盘之间;所述外绝缘环的上表面与所述凸缘部下表面之间设有上密封垫,所述外绝缘环的下表面与所述炉体底盘上表面之间设有下密封垫。
2.根据权利要求1所述的电极体密封结构,其特征在于,所述内绝缘环和所述外绝缘环为氮化硅的绝热环。
3.根据权利要求1所述的电极体密封结构,其特征在于,所述内绝缘环上端和所述外绝缘环上端高度一致。
4.根据权利要求1所述的电极体密封结构,其特征在于,所述内绝缘环长度大于所述外绝缘环长度。
5.根据权利要求1所述的电极体密封结构,其特征在于,所述凸缘部和所述外绝缘环外侧套设隔热套。
6.根据权利要求5所述的电极体密封结构,其特征在于,所述凸缘部上表面外围设置有环形凹槽,所述凹槽的内部嵌套所述隔热套上端部分。
7.根据权利要求5所述的电极体密封结构,其特征在于,所述隔热套材质为石英或陶瓷。
8.根据权利要求1所述的电极体密封结构,其特征在于,所述电极体外套设四氟套,所述内绝缘环下部设于所述四氟套与所述炉体底盘之间。
9.根据权利要求8所述的电极体密封结构,其特征在于,所述四氟套的上端和所述内绝缘环上部之间预留一定的间隙。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川永祥多晶硅有限公司,未经四川永祥多晶硅有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821510637.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种活性炭生产用漂洗装置
- 下一篇:一种适用于石英砂提纯的酸洗装置





