[实用新型]一种光栅尺拼接姿态检测系统与光栅尺拼接系统有效
| 申请号： | 201821493743.7 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208780130U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;陆海鸥;周倩;王晓浩;袁伟涵;倪凯;吴冠豪 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 光栅尺 光斑 姿态检测系统 本实用新型 检测光源 支撑平台 拼接 观测装置 检测光束 拼接系统 精密测量领域 光栅作用 检测 记录 射出 施加 移动 | ||
1.一种光栅尺拼接姿态检测系统，其特征在于，包括
支撑平台，所述支撑平台用于放置待检测的光栅，并可供所述光栅相对所述支撑平台移动；
检测光源，所述检测光源用于向所述光栅射出第一光束，所述第一光束经所述光栅形成至少两道第二光束；
接收装置，所述第二光束可分别在所述接收装置上形成光斑；
观测装置，所述观测装置用于记录各所述光斑的位置。
2.根据权利要求1所述的光栅尺拼接姿态检测系统，其特征在于，还包括反射镜，所述第二光束经过所述反射镜的反射后在所述接收装置上形成所述光斑。
3.根据权利要求2所述的光栅尺拼接姿态检测系统，其特征在于，包括沿所述第二光束射出方向分布的第一反射镜与第二反射镜，所述第一反射镜的镜面朝向所述接收装置，所述第二反射镜的镜面朝向所述光栅的出光面，所述第二光束经过所述第二反射镜反射至所述第一反射镜，再由所述第一反射镜反射至所述接收装置。
4.根据权利要求1所述的光栅尺拼接姿态检测系统，其特征在于，所述接收装置包括与所述光栅平行放置的观测屏，所述观测装置包括相机。
5.一种光栅尺拼接系统，其特征在于，包括姿态调整装置与权利要求1至4中任一项所述的检测系统，所述姿态调整装置用于调整光栅的姿态，以使该光栅形成的光斑与记录中的前一相邻光栅形成的光斑重合。
6.根据权利要求5所述的光栅尺拼接系统，其特征在于，还包括可相对所述支撑平台移动的光栅底板，所述光栅底板上设有用于放置光栅的基准平面。
7.根据权利要求6所述的光栅尺拼接系统，其特征在于，所述姿态调整装置包括分布于所述光栅的相对两侧的微调装置，所述微调装置包括可相对所述光栅伸缩的顶针。
8.根据权利要求6所述的光栅尺拼接系统，其特征在于，所述基准平面上还设置有储胶槽。
9.根据权利要求6所述的光栅尺拼接系统，其特征在于，还包括用于将所述光栅压接在所述基准平面上的柔性预紧装置。
10.根据权利要求6所述的光栅尺拼接系统，其特征在于，所述支撑平台上设有滑槽，所述光栅底板位于所述滑槽内并可沿所述滑槽滑动。
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