[实用新型]一种真空镀膜机用冷凝回收装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用冷凝回收装置，包括：两端开有操作口的回收室，其两端操作口均设有可拆卸地端盖，一侧端盖上开设有进气口，另一侧端盖上开有出气口；进气口通过管道一与真空镀膜机的真空室连通，出气口通过管道二与真空泵连通；所述回收室内上、下表面分别通过振动弹簧安装有隔板一、隔板二且隔板一与隔板二相对错列设置，所述隔板一与隔板二组合将回收室内分割形成弓字形的冷凝区；隔板一与隔板二上安装有振动器；所述冷凝区内沿冷凝区路径放置有冷凝管，所述冷凝管两端分别穿过回收室设有冷凝管进水口与冷凝管出水口。本实用新型提供一种真空镀膜机用冷凝回收装置，其结构简单、冷凝回收率高。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机用冷凝回收装置。

背景技术

真空镀膜是藉由真空泵抽出腔体内的残余气体，使腔体的内部维持真空状态，接着把待镀物（例如基板）放到腔体内，最后再将蒸镀源加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜。真空镀膜多余的镀膜材料会被真空泵从真空室中抽离而排走，若不对多余的镀膜材料进行回收，不但会造成资源的浪费，还会污染环境。

在现有技术中，真空镀膜机中主要通过冷凝回收装置回收镀膜材料，但是回收装置普遍结构复杂，冷凝回收效率低，同时运行成本较高，不利于回收镀膜材料。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种真空镀膜机用冷凝回收装置，包括：

两端开有操作口的回收室，其两端操作口均设有可拆卸地端盖，一侧端盖上开设有进气口，另一侧端盖上开有出气口；进气口通过管道一与真空镀膜机的真空室连通，出气口通过管道二与真空泵连通；所述回收室内上、下表面分别通过振动弹簧安装有隔板一、隔板二且隔板一与隔板二相对错列设置，所述隔板一与隔板二组合将回收室内分割形成弓字形的冷凝区；隔板一与隔板二上安装有振动器；

所述冷凝区内沿冷凝区路径放置有冷凝管，所述冷凝管两端分别穿过回收室设有冷凝管进水口与冷凝管出水口。

优选的是，所述端盖面向回收室一侧四周设置有4个固定柱，所述操作口对应位置开有与所述固定柱外形相匹配的固定槽；所述端盖四周设有向外延伸的固定台一，所述操作口四周设有向外延伸的固定台二，所述固定台一与固定台二表面四周分别开有4个螺纹孔，固定螺栓贯通螺纹孔实现固定。

优选的是，所述固定柱柱顶与固定槽槽底均设置有密封垫片。

优选的是，所述密封垫片采用聚四氟乙烯材料制成。

优选的是，所述进气口与管道一采用螺纹连接，所述出气口与管道二采用螺纹连接。

优选的是，所述进气口位于与进气口相邻的隔板一顶端，所述出气口位于与出气口相邻的隔板二底端。

本实用新型至少包括以下有益效果：冷凝回收装置结构简单、运行维护成本低，其通过冷凝管冷凝回收多余的镀膜材料，隔板一与隔板二组成的弓字形的冷凝区延长了镀膜材料在回收室内的流动时间，沿冷凝区路径放置冷凝管呈弓字形结构，使得多余的镀膜材料与冷凝管有足够大的接触面积，冷凝效果好，回收率高，隔板一与隔板二在振动器的工作下振动，与周围的气体发生碰撞，使得含有多余镀膜材料的空气流动至冷凝管处，进一步增加回收效率。

附图说明

图1是本实用新型的真空镀膜机用冷凝回收装置结构示意图。

图2是本实用新型的端盖与回收室连接结构示意图。