[实用新型]一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架

说明书

本实用新型属于扩散炉气源柜设备技术领域，具体为一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定连接有放置框架，所述放置框架的内侧壁上设有对称设置的两个安装槽，所述安装槽内固定连接有滑杆，所述滑杆上滑动套接有滑块，两个所述滑块相对的一侧通过支撑板固定连接，所述支撑板的顶部设有三氯氧磷源瓶，所述放置框架外侧壁的顶部固定连接有对称设置的两对滑套，所述滑套内滑动插设有活动杆，所述活动杆位于滑套内的一端固定连接有限位块，本实用新型通过固定机构和弹性支撑机构的设置，使三氯氧磷源瓶固定的更牢靠，不易发生倾斜和晃动，提高了安全性。

技术领域

本实用新型属于扩散炉气源柜设备技术领域，具体为一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架。

背景技术

在太阳能电池片的生产过程中，扩散为重要的工序，扩散后硅片的质量影响着电池片的主要性能，软着陆扩散工艺流程中，需要将硅片连同石英托架一起放入石英管中，为了使扩散更稳定、PN结更均匀分布，必须保证炉管内工艺所需压力稳定和气密性良好，工艺第一步为负压检测步，就是用来检测炉管的气密性是否符合要求，若符合，则进行下一步；若不符合，则工艺终止，经检查和调整气密性后方可再次运行工艺。

但是现有的三氯氧磷源瓶支架采用简单的固定装置将三氯氧磷源瓶卡住，在使用的过程中容易发生倾斜和晃动，存在很大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定连接有放置框架，所述放置框架的内侧壁上设有对称设置的两个安装槽，所述安装槽内固定连接有滑杆，所述滑杆上滑动套接有滑块，两个所述滑块相对的一侧通过支撑板固定连接，所述支撑板的顶部设有三氯氧磷源瓶，所述放置框架外侧壁的顶部固定连接有对称设置的两对滑套，所述滑套内滑动插设有活动杆，所述活动杆位于滑套内的一端固定连接有限位块，同一对两个所述活动杆远离滑套的一端通过安装板固定连接，所述活动杆上套设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与滑套和安装板固定连接，所述安装板靠近放置框架的一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的一端贯穿放置框架的外壁并向内延伸，所述固定杆延伸的一端固定连接有固定块，两个所述固定块相对的一端分别与三氯氧磷源瓶的两侧外壁相抵。

作为优选的，所述支撑板的顶部固定粘接有海绵垫。

作为优选的，所述安装板远离活动杆的一侧固定连接有拉手。

作为优选的，所述放置框架的顶部固定连接有橡胶套，所述橡胶套滑动套接于三氯氧磷源瓶上。

作为优选的，所述固定块上固定粘接有橡胶垫。

作为优选的，所述滑杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与滑块和安装槽的内壁固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：使用者在使用时，首先抓住拉手向两边拉动，此时活动杆在滑套内向外滑动，此时第一弹簧被拉伸，此时固定杆带动固定块向两边移动，然后将三氯氧磷源瓶放入放置框架内的支撑板上，通过滑块和第二弹簧的作用下，支撑板具有一定的弹性功能，能够使放置在支撑板上的三氯氧磷源瓶起到一定的弹性缓冲作用，可以增强三氯氧磷源瓶的稳定性，本实用新型通过固定机构和弹性支撑机构的设置，使三氯氧磷源瓶固定的更牢靠，不易发生倾斜和晃动，提高了安全性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中的A处结构示意图。