[实用新型]化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备，包括反应腔，所述反应腔内包括多个用于承载衬底的基座，所述多个基座为圆盘形，工艺气体通过管路进入所述反应腔，其特征在于，

所述多个基座中的每个所述基座彼此之间并列排布，各个所述基座的圆心在同一直线上；

各个所述基座的承载所述衬底的上表面彼此相互平行或在同一平面上；

各个所述基座的转动轴线在同一平面上，各个所述基座相对于彼此独立地旋转；以及

所述工艺气体沿各个所述基座的所述上表面，以垂直于各个所述基座的各个所述圆心的连线为方向流动。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述反应腔和所述基座之间还包括内盒，所述内盒的形状包括长方体；以及

所述工艺气体沿所述基座的所述上表面，并且以与所述上表面与所述内盒的截面截得的长方形短边相对平行的方向流动。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，相邻的所述基座以彼此相反的方向旋转。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备还包括质量流量计，对所述多个基座使用共同的所述质量流量计，所述质量流量计分配所述工艺气体到各个所述基座；以及

在所述工艺气体从所述质量流量计流向所述基座的所述管路上设置调节阀。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备还包括传输腔和机械传输臂，所述传输腔为多边形，所述传输腔的至少一边设置有所述衬底的中转站，其余各边设置有所述反应腔；以及

所述机械传输臂位于所述传输腔内，向所述反应腔的所述多个基座传输所述衬底。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述机械传输臂还被配置为沿平行于所述反应腔中各个所述基座的各个所述圆心的连线方向运动。

7.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其特征在于，在各个所述基座之间填充基座延伸部分，所述基座延伸部分的材质与所述基座相同，所述基座延伸部分的上表面与所述基座的上表面在同一平面。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述基座延伸部分的上表面包括遮挡、突起、凹陷、导流鳍、定位点中的一种或多种。

9.根据权利要求7所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述基座延伸部分的上表面与所述基座的上表面具有高程差，所述高程差可以通过机械结构实现手动或者自动调节。

10.根据权利要求2所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述内盒由非金属耐高温耐腐蚀材料制成。

11.根据权利要求2所述的化学气相沉积设备，其特征在于，在所述反应腔和所述内盒之间设置发热体，所述发热体包括红外灯源、电阻式加热器，所述电阻式加热器包括金属电阻式加热器或石墨电阻式加热器。

12.根据权利要求11所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述金属电阻式加热器或所述石墨电阻式加热器的驱动方式还包括通过感应线圈射频激励金属或石墨，使所述金属电阻式加热器或所述石墨电阻式加热器发热。

13.根据权利要求11所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述电阻式加热器为螺旋线形。