[实用新型]一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒有效
| 申请号: | 201821480827.7 | 申请日: | 2018-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN209198757U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
| 发明(设计)人: | 李常茂;李赣;陈长安;张广丰;杨蕊竹;李强;李海波 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号: | G02B21/18 | 分类号: | G02B21/18;G02B21/06;G02B21/36;G02B27/10 |
| 代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 王朋飞 |
| 地址: | 621700 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 分光镜 本实用新型 光谱分析 离轴反射镜 成像模块 高灵敏度 光谱信号 光学镜筒 照明功能 同轴 高空间分辨率 反射式物镜 空间分辨率 屏蔽环境光 反射激光 光谱收集 激光对焦 镜片切换 透射光谱 系统光路 反射式 环境光 连接带 灵敏度 杂散光 对焦 光路 采集 观察 | ||
1.一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:包括第一多分光镜立方(1)、反射式物镜(2)、第二多分光镜立方(3)、离轴反射镜模块(4)、带照明功能成像模块;所述反射式物镜(2)、第一多分光镜立方(1)、第二多分光镜立方(3)沿竖直向上光轴依次连接,并形成贯穿三者的光路通道;所述第一多分光镜立方(1)包含至少两块可切换的分光镜,用于将射入的激光反射至反射式物镜(2),并将来自反射式物镜(2)的光线透射至第二多分光镜立方(3);所述第一多分光镜立方(1)内的至少两块分光镜的透射带之和,可完整覆盖UV-VIS-NIR全光谱范围;所述第二多分光镜立方(3)用于分离光谱信号光路与图像信号光路;所述离轴反射镜模块(4)与第二多分光镜立方(3)连接并位于其光谱信号光路上,用于聚焦谱信号并耦合入外部光纤;所述带照明功能成像模块与第二多分光镜立方(3)连接并位于其图像信号光路上,用于照明并观察样品表面。
2.根据权利要求1所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述第一多分光镜立方(1)中,第一块分光镜为激光二向色镜,第二块分光镜为激光分束镜;所述激光二向色镜和激光分束镜具有等光学厚度,有效反射激光的镀膜均位于镜片面向激光入射方向的一面。
3.根据权利要求1或2所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述第二多分光镜立方(3)包括至少两块可切换的光学镜片,其中第一块光学镜片为可见光分束镜,其面向第一多分光镜立方(1)的一面镀有可见光分光膜,另一面镀有可见光增透膜;第二块光学镜片为全反镜或者全透窗口镜;所述可见光分束镜与全透窗口镜的光学厚度相等。
4.根据权利要求3所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述第一多分光镜立方(1)和第二多分光镜立方(3)均为立方体结构,其上、下、左、右侧面的中心均开有通光孔,沿其前、后侧面对角线还设有光学导轨板;所述光学导轨板设有光学安装面;所述光学安装面与立方体结构的水平、竖直轴线均具有45度夹角;所述光学安装面包括至少两个光学安装位,用于一对一安装至少两个镜片;所述光学导轨板还用于使光学安装面中任一个光学安装位切换至立方体结构的水平、竖直轴线交点上。
5.根据权利要求4所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述第二多分光镜立方(3)的光学导轨板与第一多分光镜立方(1)的光学导轨板具有90度夹角;所述第二多分光镜立方(3)内安装的可见光分束镜与第一多分光镜立方(1)内安装的激光二向色镜、激光分束镜具有相等的光学厚度。
6.根据权利要求4或5所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述离轴反射镜模块(4),用于将光谱信号聚焦至垂直于入射方向的焦点处,其入射光方向、出射光方向的两侧面板设有通光孔;所述出射光方向通光孔用于连接并使外部光纤位于所述焦点处,入射光方向通光孔用于连通第二多分光镜立方(3);所述带照明功能成像模块包括固定式分光镜立方(5),照明装置和成像装置;所述固定式分光镜立方(5)为立方体结构,其上、下、左、右侧面中心均开有通光孔,其前、后侧面之间固定安装有可见光分束镜;所述可见光分束镜与固定式分光镜立方(5)的上、下、左、右侧面均具有45度夹角,在可见光区域具有部分反射部分透射特性;所述可见光分束镜朝向第二多分光镜立方(3)的一面镀可见光分束膜,另一面镀可见光增透膜;固定式分光镜立方(5)的透射光路、反射光路两者之一上装有照明装置,另一光路上装有成像装置;所述固定式分光镜立方(5)的其中一个通光孔用于与第二多分光镜立方(3)的连通;所述照明装置用于提供照明光源(8);所述成像装置用于观察样品表面。
7.根据权利要求6所述的一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒,其特征在于:所述固定式分光镜立方(5)的可见光分束镜与第一多分光镜立方(1)内安装的激光二向色镜、激光分束镜具有相等的光学厚度;所述固定式分光镜立方(5)的可见光分束镜与第一多分光镜立方(1)的光学导轨板具有90度夹角。
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