[实用新型]固态溴气瓶装置

说明书

本实用新型提出一种固态溴气瓶装置，包括：隔热外壳，所述隔热外壳内限定有空腔；瓶体，所述瓶体设在所述空腔内，所述瓶体上具有伸出所述空腔外的出气管，所述出气管上设有减压阀；制冷系统，所述制冷系统设在所述空腔内以对所述瓶体进行制冷；温控器，所述温控器设在所述空腔内并与所述制冷系统相连以检测所述瓶体的温度，当所述瓶体的温度高于预定温度时，所述温控器控制所述制冷系统对所述瓶体进行制冷，当所述瓶体的温度低于所述预定温度时，所述温控器控制所述制冷系统停止对所述瓶体进行制冷。根据本实用新型的固态溴气瓶装置，体积小。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种用于FEI修补机的固态溴气瓶装置。

背景技术

在半导体、集成电路、光伏产品等电子产品制造过程中，为了提高产品成品率、降低生产成本，需要对以半导体晶片和光掩模版为代表的各种基板产品进行修补处理，这些产品还包括液晶显示器、等离子体显示器用玻璃基板、磁盘、光磁盘母版等，以下统称为掩模版。掩模版主要是由光刻胶、铬、石英玻璃三层结构构成，产品在生产过程中会出现各种铬残留或缺失等影响产品的质量，但是通过FEI修补机可以在产品上直接把铬残留等瑕疵蚀刻掉，使产品满足客户要求。

相关技术中，FEI修补机所用到的溴工艺气体存储在低压气态溴气瓶内，体积大且使用寿命短。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种体积小的固态溴气瓶装置。

根据本实用新型的一种固态溴气瓶装置，包括：

隔热外壳，所述隔热外壳内限定有空腔；

瓶体，所述瓶体设在所述空腔内，所述瓶体上具有伸出所述空腔外的出气管，所述出气管上设有减压阀；

制冷系统，所述制冷系统设在所述空腔内以对所述瓶体进行制冷；

温控器，所述温控器设在所述空腔内并与所述制冷系统相连以检测所述瓶体的温度，当所述瓶体的温度高于预定温度时，所述温控器控制所述制冷系统对所述瓶体进行制冷，当所述瓶体的温度低于所述预定温度时，所述温控器控制所述制冷系统停止对所述瓶体进行制冷。

有利地，所述预定温度为-7.2℃。

有利地，所述制冷系统包括蒸发器，所述蒸发器在所述空腔内缠绕在所述瓶体的外壁上。

有利地，所述蒸发器为圆管蒸发器。

有利地，所述瓶体为圆柱形钢瓶，所述隔热外壳为圆柱形隔热外壳。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的固态溴气瓶装置的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图来详细描述根据本实用新型的固态溴气瓶装置。

如图1所示，根据本实用新型的一种固态溴气瓶装置，包括：隔热外壳100，瓶体200，制冷系统300，温控器(未示出)。

具体而言，隔热外壳100内限定有空腔110。有利地，隔热外壳100为圆柱形隔热外壳。