[实用新型]基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置有效
| 申请号： | 201821477304.7 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208704659U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 蓝旭辉;沈小燕;余佳音;禹静;张宝武 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性度 微位移测量系统 电容传感器 标准具 干涉测量系统 本实用新型 比对装置 比对 等截面梁 电路模块 干涉成像 光学平台 加载系统 检测电容 面阵器件 同步完成 同一光轴 准确度 变化量 位移量 形变量 形支架 探头 测量 检测 | ||
1.基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置，包括F-P标准具干涉测量系统(5)、面阵器件(6)、“工”形支架(7)、矩形等截面梁(8)、应力加载系统(9)、电容传感器探头(13)和传感器探头固定模块(17)，其特征在于：
F-P标准具干涉测量系统(5)放置在“工”形支架(7)上方，面阵器件(6)放置在F-P标准具干涉测量系统(5)前且与F-P标准具干涉测量系统(5)处于同一光轴中用于成像，应力加载系统(9)通过对应力F的改变从而改变矩形等截面梁(8)的形变量，电容传感器探头(13)由探头固定模块(17)固定在矩形等截面梁(8)的正上方，用以感受矩形等截面梁(8)的形变量。
2.根据权利要求1所述的基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置，其特征在于：所述的矩形等截面梁(8)在其受力点处有一个小凹槽，其大小可以刚好卡入一根钢丝线，且在该矩形等截面梁(8)上的电容传感器探头感应区域贴有一块无任何缺陷且平整度小于0.05μm/mm的液晶平板玻璃(15)。
3.根据权利要求1所述的基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置，其特征在于：所述的“工”形支架(7)在矩形等截面梁(8)的受力点正下方处存在一个圆柱型空心。
4.根据权利要求1所述的基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置，其特征在于：所述的应力加载系统(9)包括一端悬挂在矩形等截面梁(8)上小凹槽处的钢丝线(19)，另一端穿过“工”形支架(7)中的圆柱型空心处后与下方的浮子(20)连接，浮子(20)放置于盛有水且水面上铺有油层的烧杯容器(21)，通过螺旋机构起降台(23)改变烧杯容器(21)的位置，从而改变浮子(20)所受的浮力大小，使得矩形等截面梁(8)所受的应力F的大小改变，数字天平(22)用于测量浮力变化大小。
5.根据权利要求1所述的基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置，其特征在于：所述的传感器探头固定模块(17)包括立柱(10)、滑块(11)、支架(12)、紧固件(14)和内六角螺钉(16)，内六角螺钉(16)将表面光滑的立柱(10)固定在光学平台(18)上，滑块(11)可在立柱(10)上上下滑动，紧固件(14)用于将滑块(11)紧固在立柱(10)上，支架(12)一端固定在滑块(11)上，另一端用来安装电容传感器探头(13)。
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