[实用新型]一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽

说明书

本实用新型提供了一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽，设置于单晶炉电极的螺纹上，包括螺帽壳和设置于螺帽壳上的连接螺栓，螺帽壳包括第一螺帽壳和第二螺帽壳，第一螺帽壳和第二螺帽壳为对称设置的两个梯形柱体，第一螺帽壳和第二螺帽壳还分别通过一侧侧面在对称面上相接触；第一螺帽壳和第二螺帽壳还分别沿中轴线方向设有安装槽，安装槽内还设有螺纹，安装槽的开口方向还朝向对称面；第一螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有内螺纹孔，第二螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有通孔，连接螺栓设置为两个，两个连接螺栓还分别通过螺纹端穿过通孔螺纹连接于内螺纹孔。本实用新型避免产生电极因出现电极打火不易拆卸的情况。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产领域，具体涉及一种连接于单晶炉石墨加热器的电极螺帽。

背景技术

本实用新型应用于单晶硅生产领域，具体说是一种直拉单晶炉加热用的不锈钢电极螺帽。CG6000型单晶炉是国内使用较多的一种单晶炉，在不影响生产能力的情况下，单晶炉轻便小巧，使用及维修极为方便。但仍有一些缺陷之处，例如此型单晶炉的电极就是一个不足之处。CG6000型单晶炉的电极设计方法为，在炉底盘上加工四个孔如图1所示，将电极装上绝缘密封套后穿入安装孔内，然后在电极的上部穿出底盘的位置安装绝缘用的云母环（如图2所示）然后套上调节高度的不锈钢环，最后装上电极螺帽，拧紧即可。但是在单晶炉生产中，会出现电极打火现象，情况如下，不锈钢电极上部的螺纹与石墨加热器的连接件接触通电，长时间的生产会在电极的螺纹上附着一层挥发物，导致电极与石墨连接件的接触越来越不好，一旦到达一定的临界值，在通电时就会出现打火现象，使电极的螺纹出现熔化变形。这样以来，就必须更换掉电极，而电极的螺纹已经熔化变形，这样拆下电极的螺帽就成为困难的工作，现在的处理方式是，用电动切割机将电极上部熔化的螺纹部位切掉，这样既费时费力，有污染工作环境，产生大量的金属屑，飞溅到设备内部会造成故障隐患，同时还对操作者有安全隐患，更重要的是需要数小时的工作，影响了生产效率。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽，电极通过电极螺帽固定于单晶炉底盘上，避免产生电极因出现电极打火不易拆卸的情况。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于CG6000单晶炉的电极螺帽，设置于单晶炉电极的螺纹上，其特征在于：电极螺帽包括螺帽壳和设置于螺帽壳上的连接螺栓，所述螺帽壳包括第一螺帽壳和第二螺帽壳，所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳为对称设置的两个梯形柱体，所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳还分别通过一侧侧面在对称面上相接触；第一螺帽壳和第二螺帽壳还分别沿中轴线方向设有安装槽，所述安装槽内还设有螺纹，安装槽的开口方向还朝向对称面；第一螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有内螺纹孔，第二螺帽壳安装槽开口处的两侧分别设有通孔，所述连接螺栓设置为两个，两个连接螺栓还分别通过螺纹端穿过所述通孔螺纹连接于所述内螺纹孔。

进一步的，所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳的顶面和底面为大小形同的梯形，所述顶面和底面还相互平行。

进一步的，所述安装槽为半圆柱型，第一螺帽壳的安装槽还与第二螺帽壳的安装槽合围成一圆柱型通道。

进一步的，两个安装槽中的螺纹尺寸相同，且第一螺帽壳安装槽内的螺纹与第二螺帽壳安装槽内的螺纹相互连通。

进一步的，所述第一螺帽壳和所述第二螺帽壳上还分别设有相互匹配的凸条和凹槽，所述凸条和凹槽均设置为两个，两个凸条分别设置于第一螺帽壳凹槽的两侧，两个凹槽分别设置于第二螺帽壳凹槽的两侧。

进一步的，所述连接螺栓为内六角螺栓。

进一步的，所述通孔为沉头孔。