[实用新型]一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构

说明书

一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构，拔叉座中部设有用于放置电机主轴的凹槽，拔叉座和电机主轴通过螺钉连接，拔叉座两侧分别安装传动销，传动销上部设有定位环，传动销上部外侧设有高温弹簧。本实用新型的真空炉高温镀膜传动拨叉机构，不需要准确对位也能达到传动的目的；结构简单，无需对位等，安装对位方便简单；无需传感器精确定位；降低了对主轴电机的要求，无需伺服电机计数等功能，普通的电机即可。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机炉内的转架要求在高温500℃左右通过主轴驱动齿轮传动给多个齿轮轴自转，从而使工件缓慢匀速转动，使镀膜工件达到均匀溅射镀膜的目的。转架要求经常拆卸，每一炉都需要装卸一次转架，安装电机的主轴安装在真空室内下方需要密封固定；主轴要求与真空室密封，有循环冷却等，所以主轴是不可以经常拆卸的。这就要求转架与主轴之间连接必须精确，无误，对位准确，否则就不能满足生产需要。

现有的真空镀膜机炉内传动机构，传动电机与转架主轴定位不准确，角度存在偏差；对转架的传动轴的位置、方向定位不准确；传动力矩受限，较重的工件传动有安全隐患。

实用新型内容

为了解决现有的真空炉高温镀膜传动机构存在的上述问题，本实用新型提供了一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构，拔叉座中部设有用于放置电机主轴的凹槽，拔叉座和电机主轴通过螺钉连接，拔叉座两侧分别安装传动销，传动销上部设有定位环，传动销上部外侧设有高温弹簧。

所述传动销上部与定位环之间设有定位套。

所述拔叉座上部位于电机主轴外侧设有垫圈，垫圈通过螺栓固定于拔叉座上。

本实用新型的真空炉高温镀膜传动拨叉机构，不需要准确对位也能达到传动的目的；结构简单，无需对位等，安装对位方便简单；无需传感器精确定位；降低了对主轴电机的要求，无需伺服电机计数等功能，普通的电机即可。

附图说明

图1是本实用新型真空炉高温镀膜传动拨叉机构俯视结构图。

图2是图1的D-D剖面结构图。

图中：1、拔叉座，2、定位环，3、传动销，4、定位套，5、高温弹簧，6、螺栓，7、垫圈，8、螺钉，9、电机主轴。

具体实施方式

本实用新型的真空炉高温镀膜传动拨叉机构结构如图1和图2所示，拔叉座1中部设有用于放置电机主轴9的凹槽，拔叉座1和电机主轴9通过螺钉8连接，拔叉座1两侧分别安装传动销3，传动销3上部设有定位环2，传动销3上部与定位环2之间设有定位套4，传动销3上部外侧设有高温弹簧5，拔叉座1上部位于电机主轴9外侧设有垫圈7，垫圈7通过螺栓6固定于拔叉座1上。

此机构与电机主轴9通过内六角圆柱头螺钉8与拔叉座1连接，随电机驱动整体传动。当上方转架组件安装到位后，电机转动，驱动拨叉座1转动，传动销3连接转架主轴，通过传动销3使拨叉传动给转架上方转架主轴，转架机构随之匀速转动以达到均匀溅射镀膜的目的。高温弹簧5的作用是当转架主轴拨叉直接压在了传动销3上面时，传动销3会缩回到下方，当转架主轴转动时，通过高温弹簧5将传动销3回弹到正常位置，达到拨叉传动的作用。传动时，是传动销3传动给转架主轴，这样就可以满足转架主轴360°任意放置，都能传动的目的。