[实用新型]高阶负型光阻剥膜槽

权利要求书

1.一种高阶负型光阻剥膜槽，包括用于盛装剥膜液的主槽体(1)，其特征在于：所述主槽体内设有用于固定待剥膜的基板(2)的挂架和能够使所述剥膜液产生涡流的摇摆机构(3)；所述主槽体的上端设有循环槽(4)以及底部设有循环管道(5)，该循环管道从所述主槽体的外部连通至所述循环槽，所述循环管道上设有用于使膜渣和溶液分离的系统马达(6)和用于过滤分离后的溶液的过滤器(7)。

2.根据权利要求1所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述摇摆机构包括摇摆框架(31)、驱动马达和依次平行间隔设于所述摇摆框架上的叶片(32)，所述驱动马达能够带动每个叶片绕其轴线按设定的频率和角度摇摆。

3.根据权利要求2所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述驱动马达为线性马达。

4.根据权利要求2所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述叶片的厚度为0.3～50mm，所述叶片的摇摆频率为0.1～15Hz，所述叶片的摇摆行程为0.3～50mm，所述叶片的摇摆角度为15°～85°。

5.根据权利要求2所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述叶片为金属、塑料或金属包塑形成。

6.根据权利要求5所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述塑料包括PVC、PP、PE和PEEK至少其中之一。

7.根据权利要求2所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述摇摆机构为两个，分别沿相互垂直的两个竖直方向设置于所述主槽体内。

8.根据权利要求7所述的高阶负型光阻剥膜槽，其特征在于：所述基板与其中一个摇摆机构平行设置。