[实用新型]整体式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821457738.0 | 申请日： | 2018-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN209227046U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 周一夫 | 申请（专利权）人： | 广州北辰工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三级泵 镀膜箱 二级泵 排气口 腔体 本实用新型 整体式真空 镀膜装置 密封管道 真空系统 底架 连通 高真空镀膜 整体式结构 控制系统 一端设置 抽真空 一级泵 并联 搬运 | ||
【权利要求书】：
1.整体式真空镀膜装置，其特征在于，包括：底架、镀膜箱、真空系统和控制系统；
所述底架的一端设置有腔体；
所述镀膜箱固定于腔体的上方；
所述真空系统包括二级泵、三级泵；所述二级泵通过密封管道与镀膜箱连通，所述三级泵固定于镀膜箱上；
所述控制系统设置在镀膜箱的一侧。
2.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：所述二级泵的排气口连接有一级泵。
3.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：所述三级泵的排气口连接有后级泵。
4.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：所述三级泵的外形最低点高于底架的下表面。
5.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：所述二级泵通过密封管道与三级泵的排气口连通，二级泵与后级泵相互并联。
6.如权利要求1或2或3所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：一级泵为单级旋片真空泵，二级泵为罗茨真空泵，三级泵为油扩散真空泵，后级泵双级旋片真空泵。
7.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：底架的底部两侧各设置有若干个脚杯。
8.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：底架的一侧设置有连接杆，控制系统使用紧固件固定于连接杆上。
9.如权利要求1所述的整体式真空镀膜装置，其特征在于：底架的两侧均设置有侧架。
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